多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第176页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 162 多功能晶圆单元使用说明书 7.3.5 晶圆托架的运用供应晶圆时，使用专用的托架。晶圆托架的运用方法根据托架的种类和安装方法的不同，按照以下进行分类。 ·夹环对应托架 ·手动拉伸托架安装到晶圆托架上的方法，请参考此处列举的插图。夹紧环对应托架手动拉伸托架 01NST -1486S 01NST -1488S

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 161

7.3.4 如何显示跳过晶片指定的菜单画面

如果知道了生产中使用的晶圆的一部分上不存在晶片，能够预先指定跳过该位置。

1. 在元件补充画面上显示跳过晶片指定的作业向导的时候，请按下箭头按钮（向右）。

2. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜单选择，选择设定方法。

a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片的区域。

b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。

c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。

跳过晶片指定的详细内容，请参照 "7.5 指定跳过晶片 "。

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

162 多功能晶圆单元使用说明书

7.3.5 晶圆托架的运用

供应晶圆时，使用专用的托架。晶圆托架的运用方法根据托架的种类和安装方法的不同，按

照以下进行分类。

·夹环对应托架

·手动拉伸托架

安装到晶圆托架上的方法，请参考此处列举的插图。

夹紧环对应托架

手动拉伸托架

01NST-1486S

01NST-1488S

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多功能晶圆单元使用说明书 163

在手动拉伸托架上的安装请按照以下的步骤。

1. 从托架基座上取下全部旋钮。

2. 安装垫片。

3. 安装带框架的晶圆，并且靠住托架基座的定位销。

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