多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第287页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 273 〈晶片往复臂〉 备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表 中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。 1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。 （详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。 ） 2. 拆下多功能晶圆单元的右侧的侧面盖罩 。 （详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 &q…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
272 多功能晶圆单元使用说明书
〈托架往复臂〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 用干净的布擦去 TY 轴导轨 (1) 和托架夹头部导轨 (2) 处的污垢。
4. 将 0.6cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在 TY 轴导轨 (1) 处均匀地涂敷润滑油。
6. 将 0.1cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在托架夹头部导轨 (2) 处处均匀地涂敷润滑油。
8. 手动动作 TY 轴和托架夹头部，使润滑油循环。
9. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
10.安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
11.将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
润滑油 加油处 加油量 (cc)
NS7 （NSK）或 Multemp SRL （协同油
脂）
(1)TY 轴导轨 0.6
(2) 托架夹头部导轨 0.1
01NST-1478a
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 273
〈晶片往复臂〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的右侧的侧面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 用干净的布擦去 SY 轴导轨的污垢。
4. 将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在 SY 轴导轨处均匀地涂敷润滑油。
6. 手动动作 SY 轴，使润滑油循环。
7. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
8. 安装多功能晶圆单元的侧面盖罩。
9. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
润滑油 加油处 加油量 (cc)
NS7 （NSK）或 Multemp SRL （协同油
脂）
SY 轴导轨 0.35
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
274 多功能晶圆单元使用说明书
〈顶起单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）。
2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置。
3. 用干净的布擦去 EX 轴滚珠丝杆、驱动凸轮和各轴导轨的污垢。
4. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
5. 使用刷子，在 EX 轴滚珠丝杆 (1) 处均匀地涂敷润滑油。
6. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
7. 使用刷子，在驱动凸轮 (2) 处均匀地涂敷润滑油。
8. 将 0.35cc 的 NS7 （NSK）或 Multemp SRL 倒在刷子上。
9. 使用刷子，在 EX 轴导轨 (3) 处均匀地涂敷润滑油。
10.使用相同的方法，在 EY 轴导轨 (4) 涂敷润滑油。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) (1)EX 轴滚珠丝杆 0.35
(2) 驱动凸轮 0.35
NS7 （NSK）或 Multemp SRL
（协同油脂）
(3)EX 轴导轨 0.35
(4)EY 轴导轨 0.35
(5)EZ 轴导轨 0.35