DL6系列直驱伺服驱动器用户手册（SL6 01 20260519 1.3）-2026.05.22.pdf - 第65页
DL6 系列 直线伺服驱动 器用户手册 5 基本使用功 能 54 5.2 误差校正功 能介绍 5.2.1 误差校正功能描述 在精密机电应 用场合（如： 硅晶 / 半导 体 /TP 等行业） ，通常有较高 的绝对精度控 制要求。 但由于直驱电 机本体误差 （如： 电机安装的平 行度 / 平整度 / 同心度、 材料的热变形 、 设计 公差等） 、 编码器 误差（ 如：栅 尺设计 公差 、栅尺刻 线工 艺不均 匀、栅尺 热变 形、栅 尺和读 …
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
53
5.1.4 限值参数设定
该界面会显示速度限制、转矩限制相关参数，可按具体需求设定，如无需修改，可直接点击下一
步；
5.1.5 电机方向选择
进入到电机方向后，可配置电机的起始运行方向，按具体工况选择即可，至此，驱动电机向导结
束，点击确认后会进入简单调谐界面。
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
54
5.2 误差校正功能介绍
5.2.1 误差校正功能描述
在精密机电应用场合（如：硅晶/半导体/TP 等行业），通常有较高的绝对精度控制要求。
但由于直驱电机本体误差（如：电机安装的平行度/平整度/同心度、材料的热变形、设计公差等）、
编码器误差（如：栅尺设计公差、栅尺刻线工艺不均匀、栅尺热变形、栅尺和读头装配平行度/同
心度不足等），以及长时间运行导致的电机磨损误差，会导致电机实际位置信息与编码器反馈的
位置信息相差较大。而实际应用中，伺服驱动器只能以编码器反馈的位置信息作为基准进行电机
位置控制，这样，因编码器反馈位置信息不精准，最终导致直驱电机的绝对精度控制不准确，进
而难以满足精密机电对高绝对精度的应用需求。
因此，可使用外部测量装置（例如激光干涉仪）生成误差映射表。误差映射存储在驱动器非易失
性存储器中。驱动器依据实际位置，实时检索校正值，并进行误差校正。执行校正后，提升直线
电机的绝对定位精度。
5.2.2 误差校正相关参数设定
参数
名称
设定
范围
意义
设定
时间
生效
时间
出厂
默认
PA-70
误差校正开关
0~1
0：关
1：开
伺服 OFF
立即
生效
0
PA-71
误差校正起始
位置低位
0~65535
误差校正起始位置 =
高位*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-72
误差校正起始
位置高位
0~65535
误差校正起始位置 =
高位*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-73
误差校正间隔
低位
0~65535
误差校正间隔 = 高位
*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-74
误差校正间隔
高位
0~65535
误差校正间隔 = 高位
*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
1
PA-75
误差校正长度
0~65535
可设置小于误差校正
表长度
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
10
PA-76
误差校正单位
0~65535
0：um
1：mm
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-77
误差校正指令
方向
0~65535
0：正向，生成误差校
正表时的运行方向与
编码器增量方向一致
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
55
参数
名称
设定
范围
意义
设定
时间
生效
时间
出厂
默认
1：反向，生成误差校
正表 时的 运行 方向 与
编码 器增 量方 向不 一
致
PA-78-
PA-177
误差校正数组
[100]
-32768~
32767
误差校正数据，最大
1mm
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
5.2.3 参数监控
参数
名称
意义
U4-29
误差校正索值
显示误差校正功能生效后，直线电机当前位置所
在的校正索引位置，也用于上位机中的校正位置
光标。
U4-30
高 8 位：
1：误差校正生效
0：误差校正未生效
低 8 位：
0：回原未完成
1：回原完成
用于上位机获取误差校正以及回原状态。
U0-94~U0-97
编码器反馈增量值，回原完成
后清空此位置
误差校正上位机界面下方显示此位置
5.2.4 功能使用介绍
当使用误差校正功能做精度补偿时，必须使用激光干涉仪，信捷直驱上位机支持直接加载激
光干涉仪自动生成的.rtl 误差校正表。如使用其它测量装置，需手动计算误差校正值并在上位
机中配置。
加载误差校正表文件（.rtl）后，需要根据校正单位进行起始位置、误差校正表间隔、需要进
行误差校正的索引长度、误差校正表方向配置。
上述内容配置完成后，把.rtl 误差校正参数写入直驱伺服驱动器中，使用前必须回零，回零后
打开使能误差校正开关，上使能正常运行，此时，会自动进行运行的误差校正，保证高精度
运行。
5.2.5 上位机误差校正界面介绍
激光干涉仪打表结束后会自动生成一组误差数据，其中包括：间隔、运行目标数、以及误差数据。
上位机加载激光干涉仪生成的.rtl 数据后，会自动显示在误差校正界面中。界面参数解释如下：
参数名称
说明
开始位置
误差校正的起始位置，默认为 0。
点编号
误差校正索引总长度，从.rtl 中自动加载，可手动配置但必须小于等于校正表长度。