DL6系列直驱伺服驱动器用户手册（SL6 01 20260519 1.3）-2026.05.22.pdf - 第69页
DL6 系列 直线伺服驱动 器用户手册 5 基本使用功 能 58 4）上位机软件处理 1 、 激光 干涉 仪生 成精 度补 偿 （误差 校 正）数 据 表（ .rtl ） 后， 点开 上位 机 软件精 度 补偿 界面 ，点 击从文件加载 ，选择从激光 干涉仪上保存 的数据表 ：
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
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激光干涉仪采集数据前，请将电机进行回原操作。
2）激光干涉仪使用示意图
3）激光干涉仪生成的精度补偿（误差校正）数据表
索引值
编码器位置（um）
Y1
激光干涉仪
外部检测位置（um）
Y2
校正值（um）
Y3 = Y2-Y1
Index 0
0
0
0
Index 1
100000
100010.524
10.524
Index 2
200000
200018.896
18.896
Index 3
300000
300023.727
23.727
Index 4
400000
400026.372
26.372
Index 5
500000
500042.724
42.724
Index 6
600000
600038.175
38.175
Index 7
700000
700058.349
58.349
Index 8
800000
800050.042
50.042
Index 9
900000
900063.90
63.90
Index 10
1000000
1000053.891
53.891
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
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4）上位机软件处理
1
、
激光干涉仪生成精度补偿（误差校正）数据表（.rtl）后，点开上位机软件精度补偿界面，点
击从文件加载，选择从激光干涉仪上保存的数据表：
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2
、
文件加载后，当前界面会显示参数文件数据及对应曲线：
3
、
确认导入数据正确后，只需修改起始方向即可；