DL6系列直驱伺服驱动器用户手册（SL6 01 20260519 1.3）-2026.05.22.pdf - 第68页
DL6 系列 直线伺服驱动 器用户手册 5 基本使用功 能 57 激光干涉仪采 集数据前，请 将电机进行回 原操作。 2）激光干涉仪使用示意图 3）激光干涉仪生成的精度补偿（误差校正）数据表 索引值 编码器位置（ um） Y1 激光干涉仪 外部检测位置 （um） Y2 校正值（u m） Y3 = Y2 -Y1 Index 0 0 0 0 Index 1 100000 100010.5 24 10.524 Index 2 200000 2…
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
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参数名称
说明
间隔
误差校正表的间隔距离，从.rtl 中自动加载数值，单位需手动配置。
校正单位
误差校正表数据的单位。
起始方向
根据打表阶段实际配置。正方向：误差校正打表阶段，电机移动方向编码器计数
递增。反方向：误差校正打表阶段，电机移动方向编码器计数递减。
使用规格：
最大支持补偿点数为 100；
针对 ABZ 编码器使用误差校正功能，必须回原之后才可生效。BISS-C 编码器类型可以选择不
进行回原。
回原完成后，对应的指示灯会有提示，以及误差校正生效后也有提示；
误差校正生效后，电机移动到对应的误差补偿索引值处，会有光标提示；
误差校正功能开启后不允许修改误差校正相关参数；
误差校正中误差数据最大为 1mm；
间隔设置必须为正数，不使用负间隔；
误差校正功能只在位置模式生效。
5.2.6 误差校正使用案例
1）激光干涉仪的配置
在本例中，使用激光干涉仪进行误差校数据的生成。误差校正补偿的总行程为 1m。驱动器等间隔
运动 100mm，共 11 次，每次运行 100mm 后，停止 6 秒，此时间越长激光干涉仪获取的数据越准
确。运行结束后激光干涉仪共计生成 11 个点的误差数据。
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
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激光干涉仪采集数据前，请将电机进行回原操作。
2）激光干涉仪使用示意图
3）激光干涉仪生成的精度补偿（误差校正）数据表
索引值
编码器位置（um）
Y1
激光干涉仪
外部检测位置（um）
Y2
校正值（um）
Y3 = Y2-Y1
Index 0
0
0
0
Index 1
100000
100010.524
10.524
Index 2
200000
200018.896
18.896
Index 3
300000
300023.727
23.727
Index 4
400000
400026.372
26.372
Index 5
500000
500042.724
42.724
Index 6
600000
600038.175
38.175
Index 7
700000
700058.349
58.349
Index 8
800000
800050.042
50.042
Index 9
900000
900063.90
63.90
Index 10
1000000
1000053.891
53.891
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4）上位机软件处理
1
、
激光干涉仪生成精度补偿（误差校正）数据表（.rtl）后，点开上位机软件精度补偿界面，点
击从文件加载，选择从激光干涉仪上保存的数据表：