DL6系列直驱伺服驱动器用户手册（SL6 01 20260519 1.3）-2026.05.22.pdf - 第66页
DL6 系列 直线伺服驱动 器用户手册 5 基本使用功 能 55 参数 名称 设定 范围 意义 设定 时间 生效 时间 出厂 默认 1 ： 反 向 ， 生 成 误 差 校 正 表 时 的 运 行 方 向 与 编 码 器 增 量 方 向 不 一 致 PA-78- PA-177 误差校正数组 [100] -32768~ 32767 误差校正数据 ，最大 1mm 伺服 OFF 且误差校正 功能关闭 伺服 ON 0 5.2.3 参数监控 参数 …
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
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5.2 误差校正功能介绍
5.2.1 误差校正功能描述
在精密机电应用场合（如：硅晶/半导体/TP 等行业），通常有较高的绝对精度控制要求。
但由于直驱电机本体误差（如：电机安装的平行度/平整度/同心度、材料的热变形、设计公差等）、
编码器误差（如：栅尺设计公差、栅尺刻线工艺不均匀、栅尺热变形、栅尺和读头装配平行度/同
心度不足等），以及长时间运行导致的电机磨损误差，会导致电机实际位置信息与编码器反馈的
位置信息相差较大。而实际应用中，伺服驱动器只能以编码器反馈的位置信息作为基准进行电机
位置控制，这样，因编码器反馈位置信息不精准，最终导致直驱电机的绝对精度控制不准确，进
而难以满足精密机电对高绝对精度的应用需求。
因此，可使用外部测量装置（例如激光干涉仪）生成误差映射表。误差映射存储在驱动器非易失
性存储器中。驱动器依据实际位置，实时检索校正值，并进行误差校正。执行校正后，提升直线
电机的绝对定位精度。
5.2.2 误差校正相关参数设定
参数
名称
设定
范围
意义
设定
时间
生效
时间
出厂
默认
PA-70
误差校正开关
0~1
0：关
1：开
伺服 OFF
立即
生效
0
PA-71
误差校正起始
位置低位
0~65535
误差校正起始位置 =
高位*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-72
误差校正起始
位置高位
0~65535
误差校正起始位置 =
高位*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-73
误差校正间隔
低位
0~65535
误差校正间隔 = 高位
*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-74
误差校正间隔
高位
0~65535
误差校正间隔 = 高位
*10000 + 低位
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
1
PA-75
误差校正长度
0~65535
可设置小于误差校正
表长度
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
10
PA-76
误差校正单位
0~65535
0：um
1：mm
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
PA-77
误差校正指令
方向
0~65535
0：正向，生成误差校
正表时的运行方向与
编码器增量方向一致
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
DL6 系列直线伺服驱动器用户手册 5 基本使用功能
55
参数
名称
设定
范围
意义
设定
时间
生效
时间
出厂
默认
1：反向，生成误差校
正表 时的 运行 方向 与
编码 器增 量方 向不 一
致
PA-78-
PA-177
误差校正数组
[100]
-32768~
32767
误差校正数据，最大
1mm
伺服 OFF
且误差校正
功能关闭
伺服
ON
0
5.2.3 参数监控
参数
名称
意义
U4-29
误差校正索值
显示误差校正功能生效后，直线电机当前位置所
在的校正索引位置，也用于上位机中的校正位置
光标。
U4-30
高 8 位：
1：误差校正生效
0：误差校正未生效
低 8 位：
0：回原未完成
1：回原完成
用于上位机获取误差校正以及回原状态。
U0-94~U0-97
编码器反馈增量值，回原完成
后清空此位置
误差校正上位机界面下方显示此位置
5.2.4 功能使用介绍
当使用误差校正功能做精度补偿时，必须使用激光干涉仪，信捷直驱上位机支持直接加载激
光干涉仪自动生成的.rtl 误差校正表。如使用其它测量装置，需手动计算误差校正值并在上位
机中配置。
加载误差校正表文件（.rtl）后，需要根据校正单位进行起始位置、误差校正表间隔、需要进
行误差校正的索引长度、误差校正表方向配置。
上述内容配置完成后，把.rtl 误差校正参数写入直驱伺服驱动器中，使用前必须回零，回零后
打开使能误差校正开关，上使能正常运行，此时，会自动进行运行的误差校正，保证高精度
运行。
5.2.5 上位机误差校正界面介绍
激光干涉仪打表结束后会自动生成一组误差数据，其中包括：间隔、运行目标数、以及误差数据。
上位机加载激光干涉仪生成的.rtl 数据后，会自动显示在误差校正界面中。界面参数解释如下：
参数名称
说明
开始位置
误差校正的起始位置，默认为 0。
点编号
误差校正索引总长度，从.rtl 中自动加载，可手动配置但必须小于等于校正表长度。
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参数名称
说明
间隔
误差校正表的间隔距离，从.rtl 中自动加载数值，单位需手动配置。
校正单位
误差校正表数据的单位。
起始方向
根据打表阶段实际配置。正方向：误差校正打表阶段，电机移动方向编码器计数
递增。反方向：误差校正打表阶段，电机移动方向编码器计数递减。
使用规格：
最大支持补偿点数为 100；
针对 ABZ 编码器使用误差校正功能，必须回原之后才可生效。BISS-C 编码器类型可以选择不
进行回原。
回原完成后，对应的指示灯会有提示，以及误差校正生效后也有提示；
误差校正生效后，电机移动到对应的误差补偿索引值处，会有光标提示；
误差校正功能开启后不允许修改误差校正相关参数；
误差校正中误差数据最大为 1mm；
间隔设置必须为正数，不使用负间隔；
误差校正功能只在位置模式生效。
5.2.6 误差校正使用案例
1）激光干涉仪的配置
在本例中，使用激光干涉仪进行误差校数据的生成。误差校正补偿的总行程为 1m。驱动器等间隔
运动 100mm，共 11 次，每次运行 100mm 后，停止 6 秒，此时间越长激光干涉仪获取的数据越准
确。运行结束后激光干涉仪共计生成 11 个点的误差数据。