KE-2070_使用说明书.pdf - 第287页
第 1 部 基本编 第 3 章 维护 3- 12 1 ）请根据设备 正面的负压 表，确认真空泵 运转时的真空压 。 * 没有进行真空运 作。 2 ）如果真空 表的数值低于 -80kPa （绿色区域） ， 请按 「 过滤器及叶片的 更换」 、或「真空泵部 件的检查·更 换」 ， 检查·更换消 耗部件。 ※本内容 的适 用 对象 是 机器 Rev 为 KE - 2070(Rev .E) 、 KE - 2080(Re v.G)KE - 20 …
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-11
1) 请确认各个插头的连接确实无误。（托盘供应装置、键盘、HOD 等）
检查项目
3-2-10 电缆、插头
实施频度 ：每天
检查内容 检查确认电缆、插头的连接情况
插入、拔出各个接头时，请先切断电源。
危险
注意
警告
为防止发生触电等重伤事故，请关闭总电源。
总电源开关是指安装在建筑物的电源开关，不是指主机上的开关。
マウス
キーボード
HOD
ﾄﾚｲ供給装置
USB
Ethernet など
鼠标
器键盘
HOD
托盘供应装置
USB
Ethernet
・绝对不要在不同电压规格下使用。
・接通电源时，请确认装置是处于安全状态下。
・接通电源时，请务必确认无人在进行装置内部的作业。
・接通电源时，请确认装置内部没有安装、或放置妨碍各种动作
的物体。
・供气时，请先切断电源。
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-12
1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
* 没有进行真空运作。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.E)、KE-2080(Rev.G)KE-2080R(Rev.A)以前的装置。
1）确认真空泵没有运行， 或者是否运行后很快出现高温。
2）取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
3）用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
4）从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
5）从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
※叶片的方向请参见下图。
6）按上述逆顺序进行安装。
7）请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
・叶片的安装方向
检查项目
3-2-11 真空泵、（选购项）
实施频度 ：参见下面
检查内容 检查压力
更换
过滤器及
叶片的更换
使用工具 ：
六角扳手、BOX 板子
更换频度 ：
1.5 年
叶片（×８）
（40061995
）
过滤器
（40061996
）
真空泵
M4 螺栓
过滤器（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
风扇组
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-13
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)、KE-2080R(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓 (M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
② ③
④
真空泵
①