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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-5 (1) ATC 滑板 控制 ATC 滑板 的打开、关闭 。 （ 2 ）停止挡销 控制停止挡销的 打开、关闭。 （ 3 ）支撑台板 控制支撑台板的 打开、关闭。 (4) 外形基准夹盘 控制外形基准夹 盘的打开、关闭 。 (5) MTC 送料 滑梭 控制 MTC 送料 滑梭的引出、 收纳。 (6) MTS 盘 控制 MTS 托盘 的引出、收纳 动作。 要引出时，显示 托盘控制对话框 。请…
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-3 Head 控制菜单
右击鼠标或按命令按钮的“Head控制菜单”，则显示弹出菜单。从菜单的列表中选择要执行的项
目，即可执行该动作。
从弹出菜单中选择项目后，轴将立即移动。在选择前，请务必确认无人在进行
装置内部的作业。此外，为了避免人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装
置内部，也不要将脸和头靠近装置。
在MS参数的“选项”设置中未被选中(未安装)的单元，不显示相对应的菜单。
此外，不受机器设置的“使用单元”设置的影响。(也显示不使用的单元)
图 9-3-1 Head 控制菜单
警告
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-5
(1) ATC 滑板
控制 ATC 滑板的打开、关闭。
（2）停止挡销
控制停止挡销的打开、关闭。
（3）支撑台板
控制支撑台板的打开、关闭。
(4) 外形基准夹盘
控制外形基准夹盘的打开、关闭。
(5) MTC 送料滑梭
控制 MTC 送料滑梭的引出、收纳。
(6) MTS 盘
控制 MTS 托盘的引出、收纳动作。
要引出时，显示托盘控制对话框。请指定[托盘层数]，再按[引出]按钮。
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(7) 传送控制
控制基板的搬进、搬出动作。
请先在按钮上指定[基板搬进]、或[基板搬出]，再按[执行]按钮。
图 9-3-2 传送控制对话框
(8) XY 轴移动
将所选单元移动到选择的位置。
选择单元无法移动位置的菜单，不能选择。
有以被选择的控制单元为基准的向标准位置的移动，以及向任意坐标的移动。
标准位置有:原点位置、校准台第1标记位置、待机位置(默认、吸嘴拆下时、用户定义)、基准针
位置、从动针位置、MTC送料滑梭吸取位置、废弃元件位置(中型、小型、大型)、VCS位置、CVS
位置、送料器台架标记位置、真空校准位置。
从弹出菜单选择移动目标位置后，以控制单元为基准进行移动。
要移动到任意坐标时，则显示如下的 XY 任意坐标移动画面。
图 9-3-3 XY 任意坐标移动对话框