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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9- 25 9-4-2-2 自动控制传送 从菜单栏中选择“控制( C )” / “传送( C )” / “自动控制传送 (A) ” ,则显示如下的自动控制 传送画面。 图 9-4-2-2-1 自动 控制传送 (1) 控制项目 用按钮来选择控 制项目。 (2) 定位方式 用按钮来选择定 位方式。 ◆ 在控制项目中选中“初始化” 、 “基板搬出 ” 、 “解除基板固定 ” 、 “基板等待传感器 …

第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-4-2 传送
9-4-2-1 个别控制传送
从菜单栏中选择“控制”/“传送”/“个别控制传送(I)”,则显示如下的个别控制传送画面。
图 9-4-2-1-1 传送类个别控制
(1) 控制项目
按下按钮,选择控制项目。
(2) 控制按钮
按动控制按钮,执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目,选择“打开(O)”按钮、“关闭(F)”按钮、“打开/关闭(/)
”按钮或按下
“F3”键、“F4”键、“F5”键进行控制。选中支撑台时,按“上(U)”、“下(D)”、 “上/
下(/)”按钮进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。

第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制(C)”/“传送(C)”/“自动控制传送(A)”,则显示如下的自动控制
传送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 定位方式
用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“解除基板固定”、“基板等待传感器/搬出传感器检
查”时,不能进行设置。

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(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后,按“执行(E)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
按定位方式指定的方式,重夹传送通道上的基板。
6) HMS 夹紧
如果是长尺寸基板对应机型,要使用「HMS夹紧」进行基板2次传送。
7) 基板等待/搬出传感器检查
把在IN缓冲区上(入口马达传送带上)的入口传感器与等待传感器之间的基板,移动到等待传
感器可打开的位置上。
此外,把OUT缓冲区(出口马达传送带上)上未达到搬出传感器传感范围的基板,移动到出口
传感器可打开的位置上。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。