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第 1 部 基本编 第 3 章 维护 3- 17 ● 吸气阀、排气阀 的更换 1 ） 松开圆头螺钉 (M3×5) ，按下并取下 排气阀。 2 ） 擦干净泵头盘，更换新的 排气阀。 3 ） 盖上排气阀按压件， 使用 0.8N ・ m 的力， 用涂抹了螺钉 松动防止剂 （ Loct ite242 ） 的圆头 螺钉 (M3×5) 对泵头盘进行固 定。 4 ） 松开固定吸气阀的圆头螺 钉 (M3×5) ，取下吸气 阀和垫片。 5 ） 擦干净泵头…

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第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-16
●碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫的更换
1） 取下 3 个（共 6 个）平头小螺丝(M4×8)，取下固定器、防止吸气阀碰触胶垫、碗形密封垫圈。
2） 将气缸与固定器之间异物清除干净。
3） 清扫之后的气缸设置在支柱上，将新碗形密封垫圈的中心与连杆安装碗形密封垫圈位置的中心
对齐，用手将气缸推入。
4） 安装了新防止吸气阀碰触胶垫的固定器放置在碗形密封垫圈之上，使用涂抹了螺钉松动防止剂
(NK-4)的平头小螺丝(M4×8)，用 3.0N・m 的力拧紧安装。
※请按照密封材料更换步骤实施护罩的安装。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部
位的更换步骤操作。
平头小螺钉
固定器
连杆
防止吸气阀
碰触胶垫
碗形密封垫
※注意朝向
平头小螺钉
固定器
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-17
●吸气阀、排气阀的更换
1） 松开圆头螺钉(M3×5) ，按下并取下排气阀。
2） 擦干净泵头盘，更换新的排气阀。
3） 盖上排气阀按压件，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)
对泵头盘进行固定。
4） 松开固定吸气阀的圆头螺钉(M3×5)，取下吸气阀和垫片。
5） 擦干净泵头盘，更换新的吸气阀。在将吸气孔、排气孔完全覆盖状态下，安装吸气阀、排气阀。
6） 叠好垫片，使用 0.8N・m 的力，用涂抹了螺钉松动防止剂（Loctite242）的圆头螺钉(M3×5)对
泵头盘进行固定。
※请按照密封材料更换步骤安装护罩。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
吸气阀
垫片
※涂抹在螺钉头纹路2～3圈。
※螺钉前端处不要涂抹。
Loctite涂抹量
排气阀
排气阀按压件
泵头盘
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-18
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1
壳
10
O
环
S-67
2
泵头护罩
11
密封圈
3
泵头盘
12
排气阀按压件
4
碗形密封气缸
13
排气阀
5
连杆
14
防止吸气阀碰触胶垫
6
固定器
15
O
环
P-10
7
碗形密封垫
16
内六角螺栓（
M5×20
）
8
吸气阀
17
平头小螺钉
(M4×8)
9
连接管
18
圆头小螺钉
(M3×5)