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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 167 ③ 请进行 刻度框 ( 模板设定 框 ) 的示教。 使用上下左右箭 头键 ( 使用 FAST 键可加速刻 度框的移动速度 ) , 对刻度框的上 、 左、 下、 右面, 按顺序,进行调 整、输入。 此时, 自动对标记进行 识别 ,并获的校正 所需的数据。 ********** ********** 显示摄象机图形和 长方形的框。 垫片 印刷部分。 首先设定上面及左 面的刻度框。 …

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1 基本篇 4 制作生产程序
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当标记识别不稳定时,请按下照明条件设置按钮,设置照明类型。
请在指定测量框的左上方前,设置照明类型。
4-5-2-3-2-2 设置照明条
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请设置照明类型。
4-5-2-3-2-3 设置照明类
·可按<应用>按钮确认所设定光量下的图像。
设置照明条件,选择用户定义时,一般设置在50200之间。设置50 以下时,
有时光量不稳定
与标记相关的信息相同,仅需要对检出框进行重新示教时,按 HOD NEXT
键,即可
略过③的操作。
此时,重新识别标记时,NEXT 键无效。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂/保护胶片,准照明时标记反射不佳,
别不稳定时使用
用户定义
上述 2 情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
1 基本篇 4 制作生产程序
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请进行
刻度框(模板设定)的示教。
使用上下左右箭头键(使用FAST键可加速刻度框的移动速度)
对刻度框的上左、下、右面,
按顺序,进行调整、输入。
此时,自动对标记进行识别,并获的校正所需的数据。
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显示摄象机图形和长方形的框。
垫片印刷部分。
首先设定上面及左面的刻度框。
设定需要识别的上面及左面(移动箭头部分的边)
设定完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Left-Top Point”。
以同样的方式设定下面及右面的刻度框
调整完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示“Set Right-Bottom Point”。
1 基本篇 4 制作生产程序
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然后,设置标记判定,选择PR
*请将标记对准PR的位置(HOD键、(XY移动上下箭头键)),然后按下ENTER键。
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[ *]PR
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刻度框的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)当刻度框过大时,会显示
误并返回③。
进行模板画面重心示教。
请进行检出框的示教。
完成④的操作后,将自动显示按④的操作设置的框尺寸 1.5 倍的窗口,与画面中心一致(默认
窗口) 要改变检出框时,请执行③的步骤。
在画面中显示刻度框和十字光标。
用“HOD移动十字光标决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)
画面下方显示“TempMatchSet Center”。
画面下方显示Select Mark
by Up or Down Key”。
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