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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 228 8) 跟踪时的 SOT 方向 检查 ( 选项 ) 在跟踪暂停时， 可进行 SOT 方向检查。 在 SOT 方向检查中，显 示如下画面。 图 4-5-4-4-4- 10 此外， SOT 方向检查后，检查结 果显示“ OK ”或“ NG ”。 9) 跟踪时的验证检 查 ( 选项 ) 在跟踪暂停时 ，可进行验证检查。 进行元件验证时 ，显示如下画面 。 图 4-5-4- 4-4-11…
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7) 在跟踪吸取高度各点时的运行
① 跟踪吸取高度的条件设定为“与测量值间有差异则停止”时：
测量值一旦出现差异，即会显示如下信息，停止自动传送。
遇此情况时，请确认吸取数据的高度值。
图 4-5-4-4-4-6
② 跟踪吸取高度的条件设定为“如果无法测量则停止”时：
当无法使用HMS测量时，即会显示如下对话框，停止自动传送。
遇此情况时，请确认吸取数据的吸取位置。
图 4-5-4-4-4-7
③ 吸取高跟踪的条件设定为“取得测量值”时：
则会显示画面,询问是否把HMS测量结果加入到吸取数据的Z坐标中。
需加入时，请按下“是”。
图 4-5-4-4-4-8
④ 吸取高度跟踪的条件设定为“用摄像机确认位置”时：
VCS监视器中将显示吸取位置，若出现以下询问时，请目视进行确认。正确时，请按 “是”。
需要用示教改变吸取位置时，请按“否”，并进行示教操作。
图 4-5-4-4-4-9
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8) 跟踪时的 SOT 方向检查(选项)
在跟踪暂停时，可进行SOT方向检查。
在SOT方向检查中，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-10
此外，SOT方向检查后，检查结果显示“OK”或“NG”。
9) 跟踪时的验证检查(选项)
在跟踪暂停时，可进行验证检查。
进行元件验证时，显示如下画面。
图 4-5-4-4-4-11
此外，验证检查后，检查测定值及结果显示“OK”或“NG”。
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10) 跟踪时的自动示教
跟踪暂停时，可进行自动示教。
自动示教时，会出现下列 5 种错误/询问。
①尺寸异常时
空洞指的是，安装元件的凹进部分。空洞尺寸与元件尺寸相比显得异常时，显示如下错误提
示。
②外周浓度异常时
空洞外周浓度异常时，显示如下错误提示。
③中心偏移时
设定的吸取数据与自动示教矫正的吸取数据差距过大时，显示如下错误提示。