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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9-8 通过组合框选择 控制对象单元 点击▼标记或按 下“ Alt ” + “↓”键，可 显示如下一 览表。 KE-2070/2070C KE-2080 KE-2080R 图 9-3-6 各机型控制单元显示 说明 输入移动目标坐 标后，按“执行 (1) ”按钮，或按下“ F3 ”键，则所选的 Head 将移动。 在移动前，请确 认在移动目标的 坐标上没有妨 碍 Head 的物 体。 不经过确…
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通过组合框选择控制对象单元
点击▼标记，或按下“Alt”+“↓”键，显示如下的一览表。
KE-2070/2070C KE-2080 KE-2080R
图 9-3-4 按机种显示的控制单元的说明
输入移动目标坐标，选择“执行(E)”按钮，或按“F3”键，则所选的控制单元将移动。
任意坐标中可输入的坐标范围，因选择单元而异。
(9) Z 轴移动
可将所选择的Head，移动到所选的位置。
可将所选择的Head向标准位置移动，也可向任意坐标移动。
标准位置有:激光高度、待机位置、XY轴移动高度、VCS高度、CVS高度。
从弹出菜单选择移动目标位置后，所选的 Head 将移动。
移动到任意坐标时，显示Z轴上任意坐标移动画面。
图 9-3-5 Z 任意坐标移动对话框
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通过组合框选择控制对象单元
点击▼标记或按下“Alt”+“↓”键，可显示如下一览表。
KE-2070/2070C KE-2080 KE-2080R
图 9-3-6 各机型控制单元显示说明
输入移动目标坐标后，按“执行(1)”按钮，或按下“F3”键，则所选的 Head 将移动。
在移动前，请确认在移动目标的坐标上没有妨碍 Head 的物体。
不经过确认而执行时，可能会损坏 Head 等。
注意
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（10）
θ
轴移动
将选中的Head旋转到所选择的角度。
(11) 真空控制
选中Head，操作“真空控制”的开、关。
(12) 吹气控制
选中Head，操作“吹气控制”的开、关。
(13) 垂直照明控制
操纵ＯＣＣ照明的的开、关。
(14) 角度照明控制
操纵ＯＣＣ照明的的开、关。
(15) 极性控制
操作ＯＣＣ“极性控制”的正、逆。
(16) 传感器控制
选中传感器置，操作开、关。