KE-2070_使用说明书.pdf - 第288页
第 1 部 基本编 第 3 章 维护 3- 13 ※本内容的适用 对象是机器 Rev 为 KE - 2070 (Rev. F) 、 KE - 208 0(Rev. H) 、 KE - 2080R (Rev. B) 以前的装置。 下列部件的耗损 ，可能导致压力 降低。 < 消耗部件表 > 更换 部件组品号： 40 099554 检查部位 使用数量 检查内容 检查方法 皮碗式密封件 2 有无异常磨损、 硬化、龟裂等 目检 吸气阀…
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-12
1）请根据设备正面的负压表，确认真空泵运转时的真空压。
* 没有进行真空运作。
2）如果真空表的数值低于-80kPa（绿色区域），
请按「过滤器及叶片的更换」、或「真空泵部件的检查·更换」，
检查·更换消耗部件。
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.E)、KE-2080(Rev.G)KE-2080R(Rev.A)以前的装置。
1）确认真空泵没有运行， 或者是否运行后很快出现高温。
2）取下主机正面的盖子，拧松泵正面固定风扇组的 M4 螺丝，向前方卸下。
3）用 BOX 扳子拧松固定泵套的 4 处六角螺栓，把套子卸下来。
4）从凹处把过滤器卸下来，检查脏污程度。（太脏时要更换）
5）从旋转部槽拔出叶片后，进行更换。（1 套 8 枚）
※叶片的方向请参见下图。
6）按上述逆顺序进行安装。
7）请确认再运转后没有异常声响，负压表数值高于-80kPa。
・叶片的安装方向
检查项目
3-2-11 真空泵、（选购项）
实施频度 ：参见下面
检查内容 检查压力
更换
过滤器及
叶片的更换
使用工具 ：
六角扳手、BOX 板子
更换频度 ：
1.5 年
叶片（×８）
（40061995
）
过滤器
（40061996
）
真空泵
M4 螺栓
过滤器（40061996）
叶片（×8）
（40061995）
风扇组
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
3-13
※本内容的适用对象是机器 Rev 为 KE-2070(Rev.F)、KE-2080(Rev.H)、KE-2080R(Rev.B)以前的装置。
下列部件的耗损，可能导致压力降低。
<消耗部件表> 更换部件组品号：40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O 环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
1) 请确认真空泵没有运行。
※真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
2) 请拆下主体正面的外罩。
3) 拆下连接真空泵的气管①、
再拆下线綑(电源、地线)②、
把固定③VAC_PUMP_PLATE 的
④六角凹头螺栓 (M4×8)拆下来。
4) 把真空泵从主体中取出。
(取出时，请注意线綑。)
检查·更换 真空泵部件的检查·更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换频度 ：9 个月
② ③
④
真空泵
①
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3-14
●密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O 环 S-67
泵头盘