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第 1 部 基本编 第 3 章 维护 3- 15 2 ） 将碗形密封气缸上部的 O 环 S- 67 ，换上新的 O 环。 ※ 请按照密封 圈的更换顺序 , 安装护罩。 更换其它消耗 部件时， 请不要关 闭护罩， 参照各部位 的更换 步骤操作。 ● 更换 O 环 P- 10 1 ） 用与更换密封圈同一要领 ，卸下泵头护罩 和泵头盘。 2 ） O 环 P - 10 安 装到位于连接 泵头护罩之间的 连接管。事先， 请确认 O 环上涂有真空黄…
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
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●密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O 环 S-67
泵头盘
第 1 部 基本编 第 3 章 维护
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2） 将碗形密封气缸上部的 O 环
S-67，换上新的 O 环。
※请按照密封圈的更换顺序,安装护罩。更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部位的更换
步骤操作。
●
更换 O 环 P-10
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
2） O 环 P-10 安装到位于连接泵头护罩之间的连接管。事先，请确认 O 环上涂有真空黄油。
3） 更换中，请注意插入连接管时不要造成 O 环划伤。（1 根管内有 2 个）
※护罩的安装，请按照密封圈的更换顺序进行。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各
部位的更换步骤操作。
O 环 S-67
碗形密封气缸
O 环 P-10 连接管
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●碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫的更换
1） 取下 3 个（共 6 个）平头小螺丝(M4×8)，取下固定器、防止吸气阀碰触胶垫、碗形密封垫圈。
2） 将气缸与固定器之间异物清除干净。
3） 清扫之后的气缸设置在支柱上，将新碗形密封垫圈的中心与连杆安装碗形密封垫圈位置的中心
对齐，用手将气缸推入。
4） 安装了新防止吸气阀碰触胶垫的固定器放置在碗形密封垫圈之上，使用涂抹了螺钉松动防止剂
(NK-4)的平头小螺丝(M4×8)，用 3.0N・m 的力拧紧安装。
※请按照密封材料更换步骤实施护罩的安装。在更换其它消耗部件时，请不要关闭护罩，参照各部
位的更换步骤操作。
平头小螺钉
固定器
连杆
防止吸气阀
碰触胶垫
碗形密封垫
※注意朝向
平头小螺钉
固定器