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第 2 部 功能详细篇 第 10 章 设备运行信息 10 - 17 10-5-5 VCS 运行信息 从菜单栏中选择 “窗口 (W) ” / “图像” / “ VCS 运行信息”， 则显示图 10-5-5-1 。 No. 项目 内容 １ 使用次数 使用 VCS 的累 计次数。 ２ 使用时间 使用 VCS 的累 计时间。 ３ 故障次数 VCS 发生 错误的累计次 数。 ４ 反射照明运 行次数 使用反射照明的累计次数 。 ５ 反射照明运 行时…
第 2 部 功能详细篇 第 10 章 设备运行信息
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10-5-4 OCC 运行信息
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“OCC运行信息”，则显示图10-5-4-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用 OCC 的累计次数。
２ 使用时间 使用 OCC 的累计时间。
３ BOC 标记识别错误次数 发生 BOC 标记识别错误的累计次数。
４ 基准领域标记识别错误次数 发生基准领域标记识别错误的累计次数。
５ 台架标记识别错误次数 发生台架标记错误的累计次数。
图 10-5-4-1 OCC 运行信息
第 2 部 功能详细篇 第 10 章 设备运行信息
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10-5-5 VCS 运行信息
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“VCS运行信息”，则显示图10-5-5-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用 VCS 的累计次数。
２ 使用时间 使用 VCS 的累计时间。
３ 故障次数 VCS 发生错误的累计次数。
４ 反射照明运行次数 使用反射照明的累计次数。
５ 反射照明运行时间 使用反射照明的累计时间。
６ 透射照明运行次数 使用透射照明的累计次数。
７ 透射照明运行时间 使用透射照明的累计时间。
８ 侧面照明运行次数 使用侧面照明的累计次数。
９ 侧面照明运行时间 使用侧面照明的累计时间。
图 10-5-5-1 VCS 运行信息
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10-5-6 SOT 检查台运行信息（选购项）
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“SOT检查台运行信息”，则显示图10-5-6-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用 SOT 检查台的累计次数。
２ 使用时间 使用 SOT 检查台的累计时间。
３ SOT 检查出错次数 SOT 方向检查中出错的累计次数。
图 10-5-6-1 SOT 运行信息