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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 9- 27 9-4-2-3 自动调整基板宽度控制 从菜单栏中选择 “控制” / “传送系统” / “自动调 整基板宽度” ,则显示 如下的自动基板 宽度调 整控制画面。 图 9-4-2-3-1 自动调整基 板宽度控制 (1) 控制项目 用按钮来选择控 制项目。 (2) 控制按钮 用控制按钮来执 行控制项目。 选择控制项目, 选择“执行 (E) ”按钮或按 下“ F3 ”键来进 行控制。 1)…

第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
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(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后,按“执行(E)”按钮或按下“F3”键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板搬入
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
解除基板的固定。
5) 重新夹紧基板
按定位方式指定的方式,重夹传送通道上的基板。
6) HMS 夹紧
如果是长尺寸基板对应机型,要使用「HMS夹紧」进行基板2次传送。
7) 基板等待/搬出传感器检查
把在IN缓冲区上(入口马达传送带上)的入口传感器与等待传感器之间的基板,移动到等待传
感器可打开的位置上。
此外,把OUT缓冲区(出口马达传送带上)上未达到搬出传感器传感范围的基板,移动到出口
传感器可打开的位置上。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。

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9-4-2-3 自动调整基板宽度控制
从菜单栏中选择“控制”/“传送系统”/“自动调整基板宽度”,则显示如下的自动基板宽度调
整控制画面。
图 9-4-2-3-1 自动调整基板宽度控制
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
(2) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目,选择“执行(E)”按钮或按下“F3”键来进行控制。
1) 返回原点
使自动基板宽度调整返回原点。
2) 变更宽度
变更传送的宽度。
(3) 状态显示
连续显示各传感器、各单元的状态。

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9-4-3 图像
9-4-3-1 VCS 控制
从菜单栏中选择“控制”/“图像”/“VCS控制”,则显示如下的VCS控制画面。
图 9-4-3-1-1 VCS 控制
(1) 控制单元
用按钮选择控制对象单元。
不能选择 MS 参数的“选项”设置中未设置视
野类型(未安装)的单元。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响。
(也可以选择不使用的单元)
(2) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
不影响机器设置的“使用单元”中的设置。
(也可以选择不使用的单元)