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第 2 部 功能详细篇 第 10 章 设备运行信息 10 - 18 10-5-6 SOT 检查台运行信息(选购项) 从菜单栏中选择 “窗口 (W) ” / “图像” / “ SOT 检查台运行 信息”,则显 示图 10-5-6-1 。 No. 项目 内容 1 使用次数 使用 SOT 检查 台的累计次数 。 2 使用时间 使用 SOT 检查 台的累 计时间。 3 SOT 检查出错次数 SOT 方向检查 中出错的累计 次数。 图 10-5-…

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2 功能详细篇 10 设备运行信息
10-17
10-5-5 VCS 运行信息
从菜单栏中选择“窗口(W)/“图像”/VCS运行信息”,则显示图10-5-5-1
No. 项目 内容
使用次数 使用 VCS 的累计次数。
使用时间 使用 VCS 的累计时间。
故障次数 VCS 发生错误的累计次数。
反射照明运行次数 使用反射照明的累计次数
反射照明运行时间 使用反射照明的累计时间。
透射照明运行次数 使用透射照明的累计次数
透射照明运行时间 使用透射照明的累计时间
侧面照明运行次数 使用侧面照明的累计次数
侧面照明运行时间 使用侧面照明的累计时间
10-5-5-1 VCS 运行信息
2 功能详细篇 10 设备运行信息
10-18
10-5-6 SOT 检查台运行信息(选购项)
从菜单栏中选择“窗口(W)/“图像”/SOT检查台运行信息”,则显示图10-5-6-1
No. 项目 内容
使用次数 使用 SOT 检查台的累计次数
使用时间 使用 SOT 检查台的累计时间。
SOT 检查出错次数 SOT 方向检查中出错的累计次数。
10-5-6-1 SOT 运行信息
2 功能详细篇 10 设备运行信息
10-19
10-5-7 共面检测运行信息(选购项)
从菜单栏中选择“窗口(W)/“图像”/“共面检测运行信息”,则显示图10-5-7-1
No. 项目 内容
使用次数 使用共面检测的累计次数
使用时间 使用共面检测的累计时间
共面检测出错次 发生共面检测错误的累计次数。
10-5-7-1 面检测运行信息