KE-2070_使用说明书.pdf - 第479页
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 163 ④ 请选择标记 的形状。 标记的形状将被 自动判别。判 别结果有误时 ，请用 HOD 的↑键、 ↓键 (X 、 Y 移动上下箭头 键 ) 选 择正确的标记。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检出 框的示教。 完成④的操作后 ，画面中心 ( 默认窗口 ) 会自动显示标 记尺寸 1.5 …
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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● 当标记识别不稳定时，请按下设置照明条件按钮，设置照明图案。
请在指定测量框的左上方前，先设置照明图案。
图 4-5-2-3-1-3 设置照明条件
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明图案。
图 4-5-2-3-1-4 设置照明类型
·按<应用>按钮确认所确定设定光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2
种类型的情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，
直接设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明图案，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下 HOD 的 NEXT 键即可
略过③的操作。
在此情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。
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④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头键)选
择正确的标记。
[＊]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检出框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检出框时，请
执行④的步骤。
在此，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可返回检出框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检出框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
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⑥ 示教结束后，显示提示，问是否注册到标记数据库
图 4-5-2-3-1-5 基板标记示教(2)
要把示教数据注册到标记数据库时，请输入注册名称，然后按下<新建>按钮。
要与已经注册的示教数据进行替换时,请输入替换的名称，将光标移至注册区域想要替换的数
据所在行，然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据注册到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
No. 按钮选择 处理
1 新建 输入注册名称，将示教数据注册到标记数据库中并退出。
2 覆盖 替换所选的光标所在行的数据。
3 取消 退出，不将示教数据注册进标记数据库。
至此，以识别为目的的示教操作结束。识别示教结束后，标记数据的旁边显示“*”，表示示
教完成。对使用的标记请全部进行识别示教。
在示教过程中按下HOD的CANCEL键，则即刻结束当前的示教。(
此时，到此为止所输入的数据
均无效)。
按下CANCEL键时，装置不会移动。
按下 HOD 的 CAMERA 键进行黑白反色显示。若标记相对于基板显得比较暗时，请按
CAMERA 键进行黑白反色显示，可使标记显得白亮。
通过 CAMERA 键进行的标记反转，仅在刻度框输入时有效。