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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 174 1) 操作 图 4-5-4-1-1-3 ① 传送动作 从一览表中选择 搬入或搬出基板 。 如果是长 尺寸基板对应机型 ，要使用「 HMS 夹紧 」进 行基板 2 次传 送。 ② 校准 BOC 选择是否在搬入 基板后马上进行 BOC 校准。选 择“按选项执 行”后，则适 用操作选项设定的 示教项目设定。 2) 状态 依次显示当前的 基板传送内容及 动作状况。 图 4-5-4-1-…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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4-5-4-1 传送
4-5-4-1-1 基板搬入/基板搬出
执行基板的搬入、搬出。
安全盖打开时，选择菜单后，为了将轴移动到安全位置，显示如下信息。
请确认安全后，按下“继续”。
图 4-5-4-1-1-1 确认安全
将轴移动到安全位置后，显示下列基板传送画面。
图 4-5-4-1-1-2 基板传送
·按<开始>开关或“执行”进行传送。
·结束操作时，请按“关闭”。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按<停止>开关停止。
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
4-174
1) 操作
图 4-5-4-1-1-3
① 传送动作
从一览表中选择搬入或搬出基板。
如果是长尺寸基板对应机型，要使用「HMS夹紧」进行基板2次传送。
② 校准BOC
选择是否在搬入基板后马上进行BOC校准。选择“按选项执行”后，则适用操作选项设定的
示教项目设定。
2) 状态
依次显示当前的基板传送内容及动作状况。
图 4-5-4-1-1-4
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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4-5-4-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后，显示如下的画面。
图 4-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
1) 调整基板宽度
向基板外形尺寸+余宽的位置移动，运行时传送宽度值适用下列设定值。
图 4-5-4-1-2-2
2) 基板外形尺寸
设定基板外形尺寸。初始值设定为基板数据中的基板外形尺寸(Y)。
图 4-5-4-1-2-3
3) 余宽
设置基板与传送轨道的余宽。
图 4-5-4-1-2-4
使用机器前面的摇把进行调整后，按下“取得”按钮，将把当前的传送宽度与基板外形尺寸的差
值，作为余宽登录下来。
4) 基板传送按钮
调出基板搬入/搬出。
5) 宽度返回原点
进行基板宽度自动调整的返回原点。
6) 应用按钮
将余宽值应用于生产条件。
<步骤>
① 输入基板外形尺寸。
② 需要变更余宽时，请设
置余宽。
③ 单击“移动”。
(未进行“宽度返回原
点”时，应先进行宽度
返回原点)。