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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 100 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.105: ► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) oder (6) des jeweiligen Näherungsschalters: – (2) Reverse Limit (RL2…

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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 99
Abb.103:
► Verschieben Sie den Wafertisch über den gesamten Verfahrbereich X-Achse.
► Stellen Sie sicher, dass der mechanische Anschlag der X-Achse genügend Abstand zu den
Kabeln hat. Fixieren Sie ggf. vorsichtig den gesamten Kabelstrang (siehe Bild)!
5.3.3 Tausch Sensoren Y-Achse
Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der Y-Achse
des Wafertisches. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Adapterplatine Wafer-
tisch angeschlossen.
Abb.104:
1. Näherungsschalter für Reverse Limit (RL2)
2. Näherungsschalter für Forward Limit (FL2)
3. Adapterplatine Wafertisch
4. Abdeckung Adapterplatine
Informationen zur Verdrahtung finden Sie im Abschnitt 5.2.3 "Überblick Sensoren" [}70].
► Entfernen Sie die Abdeckung (4) der Adapterplatine Wafertisch.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
100 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.105:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) oder (6) des jeweiligen Näherungsschalters:
– (2) Reverse Limit (RL2)
– (3) Forward Limit (FL2)
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine Wafertisch aus.
► Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe zu Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen
Leitungen, falls keine Bezeichnung vorhanden ist.
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter am jeweiligen Endanschlag (4) oder (5).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
5.3.3.1 Näherungsschalter überprüfen
► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Aktivieren Sie den Näherungsschalter mit einem Schraubendreher.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings.
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis1 und dann wählen Sie die Registerkarte Axis sta-
tus.
ð Die Anzeigen leuchten:
– Forward Limit active
– Reverse Limit active
► Bewegen Sie die Achse in beide Richtungen. Bevor die Achse in den jeweiligen Endanschlag
fährt, muss der Näherungsschalter ansprechen und die entsprechende Anzeige leuchten.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 101
5.3.4 Tausch Sensoren X-Achse
Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der X-Achse
des Wafer Tisches. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Adapterplatine Wafer-
tisch angeschlossen.
Abb.106:
1. Näherungsschalter für Forward Limit (FL1)
2. Näherungsschalter für Reverse Limit (RL1)
Informationen zur Verdrahtung finden Sie im Abschnitt 5.2.3 "Überblick Sensoren" [}70].
► Entfernen Sie die Abdeckung (4) der Adapterplatine Wafertisch.
Abb.107:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) oder (6) des jeweiligen Näherungsschalters:
– (2) Forward Limit (FL1)
– (3) Reverse Limit (RL1)
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine Wafertisch aus.
► Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen
Leitungen, falls keine Bezeichnung vorhanden ist (siehe).
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter am jeweiligen Endanschlag (4) oder (5).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.