00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第210页
9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer 210 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 ► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion. – Ein- und Ausschalten. ► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Ma…

9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 209
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Öffnen Sie die Kabelbinder und Kabelschellen und fädeln Sie die Motorleitung und das Flach-
bandkabel für den Encoder bis zur Motorplatine (1) aus.
► Stecken Sie die Kabel von der Motorplatine ab.
► Bewegen Sie die Zahnriemenachse so, dass in der Öffnung (2) am Motorflansch (3) die Kupp-
lung zu sehen ist.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) des Motors am Motorflansch (3).
► Ziehen Sie den Motor (5) mit der Kupplung (4) heraus.
► Kontrollieren Sie die Kupplung (4) auf Beschädigung und tauschen diese ggf. aus.
Einbau
► Schieben Sie den Motor mit Kupplung auf die Antriebswelle. Drehen Sie die Kupplung dabei
so in Position, dass sie in das Gegenstück eingreift.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) am Motorflansch fest.
► Schließen das Motor- und Encoderkabel an die Motorplatine an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
► Montieren Sie die Abdeckung der Motorplatine.
9.2.6 Magnetventile tauschen
Abb.268: Magnetventile für die Greifersteuerung
Das Magnetventil (Y1) steuert das Rauf- und Runterfahren des Greifers. Das Magnetventil (Y2)
steuert die Klemmung der Greiferbacken (auf/zu). Je nach Version sind die Magnetventile entspre-
chend angeordnet und gekennzeichnet (Y1/Y2). Zur Identifizierung des jeweiligen Magnetventils
lesen Sie die Stromlaufpläne und den Pneumatikplan.
Magnetventil tauschen
► Stecken Sie die Pneumatikanschlüsse (4) und die elektrischen Anschlüsse der Magnetventile
ab.
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (3) und entnehmen Sie das Magnetventil.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.

9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
210 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Steuern Sie das Magnetventil Y1 an.
– DO18 Gripper up/down fährt den Greifer rauf und runter.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI29 Gripper position: up
– DI30 Gripper position: down
► Steuern Sie das Magnetventil Y2 an.
– DO19 Gripper open/closed öffnet und schließt die Greiferbacken.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale für die entsprechende Position.
– DI31 Gripper: open
– DI32 Wafer present in gripper
9.2.6.1 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 2/4)
Abb.269: Einstelldrossel am Greifer (2/4)
Mit Hilfe von Einstelldrosseln kann die Klemmung der Greiferbacken (1), sowie das Rauf- und Run-
terfahren des Greifers (2) eingestellt werden. Beide Aktionen sollen sanft und ohne Schlagge-
räusche erfolgen.

9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 211
9.2.6.2 Sanftes Klemmen und Verfahren des Greifers einstellen (für Stellplatz 1/3)
Abb.270: Einstelldrossel am Greifer (1/3)
Mit Hilfe von Einstelldrosseln kann die Klemmung der Greiferbacken (1), sowie das Rauf- und Run-
terfahren des Greifers (2) eingestellt werden. Beide Aktionen sollen sanft und ohne Schlagge-
räusche erfolgen.
Bei der Einstellung auf die verschiedenen Framestärken (Dicken) müssen Sie die Rückzugfeder
der Schaltfahnen (3) kontrollieren.
9.2.7 Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren
Abb.271: Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (3) und (4) des Greifers (1) und legen Sie den Grei-
fer vorsichtig im SWS ab. Lockern oder öffnen Sie ggf. Kabelbinder um eine geeignete Posi-
tion zu erreichen.