00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第331页
12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 331 Abb.462: ● An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 360 rot) abzule- …
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
330 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.460:
► Ziehen Sie, wenn möglich, für die folgenden Schritte eine zweite Person hinzu.
► Drücken Sie die Fühlerlehre 0,1mm (1) mit dem Finger auf die Bezugsfläche. Das Ende der
Fühlerlehre soll dabei unter dem Sender S (2) sein.
► Drücken Sie mit dem anderen Finger den Sender in Richtung (3) (von Außen gesehen nach
links). Verschieben Sie dabei den Sender S in der Höhe (4), bis der Sender S (2) ganz leicht,
oder mit einem hauchdünnen Spalt zur Fühlerlehre eingestellt ist.
ð Wichtig ist, dass der Sender die Fühlerlehre (1) maximal nur leicht berührt, die Fühlerlehre
soll sich dabei nicht nach unten verbiegen!
ð Ein leichter Licht-Spalt zwischen Fühlerlehre und dem Sender S ist auch akzeptabel (5).
Abb.461:
► Eine zweite Person sollte nun die beiden Befestigungsschrauben des Sender S anziehen.
► Verwenden Sie bei Bedarf den gekürzten Inbusschlüssel, falls kein Schraubenzugang von der
Seite möglich ist.
► Kontrollieren Sie danach die Einstellung mit der Fühlerlehre.
●
Aufgrund der mechanischen Konstruktion fluchten der Sender S und Empfänger R nicht voll-
ständig.
●
Durch das Drücken des Sender S in die linke Position wurde zum Vorjustieren die beste Aus-
gangs-Einstellung erreicht.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 331
Abb.462:
●
An der Auswerteeinheit ist nun ein Lichtintensitätswert (in unserem Beispiel 360 rot) abzule-
sen.
●
Der Schaltschwellen-Wert ist noch aus einer alten Kalibrierung (in unserem Beispiel 210
grün).
Abb.463:
●
Der Sender S (1) sendet nun einen Lichtstrahl (3 blau) aus.
●
Der Lichtstrahl (3 blau) trifft den Empfänger R (2) nicht optimal.
●
Vom ausgestrahlten Licht kommt nur ein gewisser Bruchteil an Lichtintensität (in unserem Fall
360) am Empfänger R (2) an.
●
Ebenso kann man am Expansionsring die Position und die Lichtstreuung des Lichtstahles er-
kennen.
●
Die Streuung ist normal, da sich das Licht mit zunehmender Entfernung ausbreitet (Streuung
wird größer), also sich zwangsläufig auch die Lichtintensität mit zunehmender Entfernung ver-
ringert.
●
Daher wird niemals der komplette Lichtstrahl beim Empfänger ankommen.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
332 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
In den folgenden Schritten wird nun der Empfänger R (2) und der Sender S (1) so ausgerichtet,
dass die größtmögliche Lichtintensität am Empfänger R ankommt. Dies zeigt sich in einem größt-
möglichen Wert (Rot) an der Auswerteeinheit (grüner Lichtstrahl (4)).
Der Sender S wurde schon mithilfe der Fühlerlehre in die beste Ausgangsposition gebracht.
Die Ausrichtung erfolgt nun durch Drehen des Empfänger R zur Seite hin, bis an der Auswerteein-
heit der höchste Wert abzulesen ist. Gehen Sie dazu wie folgt vor:
Abb.464:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) des Empfänger R.
► Drehen Sie den Empfänger R soweit in um die Drehachse (2), bis der Lichtstrahl vom Sender
S maximal erreicht wird.
► Eine optimale Ausrichtung zwischen Empfänger R und Sender S zeigt sich an der größtmögli-
chen Lichtintensität am Empfänger R (= größtmöglicher Wert (Rot) an der Auswerteeinheit).
► Drehen Sie den Empfänger so lange, bis Sie den maximalen Wert erreicht haben und ziehen
Sie die Befestigungsschraube (1) an.
– Beim Anziehen der Befestigungsschraube des Empfängers R wird sich der Wert an der
Anzeigeeinheit verkleinern, da aufgrund des Auflagestiftes der Empfänger R nach unten
gedrückt wird und dadurch sich die Ausrichtung verändert.
– Eine 10%ige Verschlechterung zum maximalen Lichtintensitätswert ist akzeptabel.