00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第126页
7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen 126 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.137: ► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (1) der Grundplatte des Die-Ejectors (Inbus5). Die Omega-Feder zie…
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 125
7.3.2 Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem SWS
Benötigte Werkzeuge
●
Standard Sechskantschraubendreher-Satz
●
T-Schlüssel Inbus Gr. 5
●
Kleiner Schraubendreher
Voraussetzungen
●
SWS aus Maschine ausgebaut.
●
SWS von Stromversorgung abgesteckt
Vorgehensweise
Abb.136:
► In der angefahrenen Wechselposition verdeckt der Wafertisch immer noch zwei der Befesti-
gungsschrauben(1) der Die-Ejector Grundplatte.
Daher muss von Hand der Wafertisch in Richtung Waferlift(2) geschoben werden, bis die
Schrauben zugänglich sind.
VORSICHT
Die-Ejector abgesenkt?
► Achten Sie vor Verschieben des Wafertisches immer darauf, dass der Die-Ejector ab-
gesenkt ist.
WARNUNG
Verletzungsgefahr der Hände
Beim manuellen Verschieben des Wafertisches besteht immer eine Verletzungsgefahr
durch Einklemmen der Hände.
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
126 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.137:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben(1) der Grundplatte des Die-Ejectors (Inbus5).
Die Omega-Feder zieht die Grundplatte gegen die Exzenterwelle(3) X‑Richtung. Entfernen Sie die
Omega-Feder (2) wie folgt:
Abb.138:
► Mithilfe eines kleinen Schraubenziehers hebeln Sie an der Kante(4) die Omega-Feder (3)
nach oben(5).
► Entnehmen Sie die Omega-Feder nach oben.
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 127
Abb.139:
► Ziehen Sie die Druckluftzuleitung (6) des Die-Ejectors am Pneumatikverteiler ab.
Abb.140:
► Ziehen Sie den Vakuumschlauch (7) am Vakuumventil des Die-Ejectors ab.