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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 403 15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position Abb.578: ► (1) Wählen Sie Go…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
402 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.576:
(1) Wafertisch-Schiene
(2) Magazinplatte
(3) Metall-Lineal
► Legen Sie ein Metall-Lineal (3) auf die Führungsschiene.
Abb.577:
► Verwenden Sie den Manipulator und verfahren Sie den Waferlift langsam, bis Sie auf dersel-
ben Ebene sind.
WARNUNG
Achten Sie auf die sich bewegende Hub-Achse!
► Bringen Sie niemals Ihre Finger in den Bereich des Lifts.
► Verwenden Sie immer ein Metall-Lineal!
► Verwenden Sie kleine Schritte (z.B. 100µm oder 500µm), um die Wafer-Übergabeposition
einzustellen.
► Wählen Sie Save neben Wafer transfer position, um die Position zu speichern
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 403
15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position
Abb.578:
► (1) Wählen Sie Go to position Button neben Magazine change position, um die Hub-Achse
in diese Position zu fahren.
► (2) Die Kunststoffschiene an der Magazinplatte und die am Lift-Rahmen sollten nun auf der-
selben Ebene sein (siehe im Bild unten).
Abb.579:
► (3) Wenn nicht, korrigieren Sie die Position mit den Auf- und Ab-Pfeiltasten, nachdem Sie die
geeignete Schrittgröße gewählt haben.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
404 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung
Abb.580:
► Um die Kalibrierung zu starten, wählen Sie zuerst Service menu in der Menüleiste am unte-
ren Rand und dann wählen Sie Calibration of wafer table.
15.4.2.1 Wafertisch-Kalibrierung
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.581:
Die Standardvorgehensweise führt alle Einzelschritte zur Kalibrierung des Wafertisches in einem
Vorgang aus.
Diese Vorgehensweise umfasst dieselbe Reihenfolge der Kalibrierschritte wie in Single step cali-
bration.
Wenn Probleme auftreten, kann die Wafertisch-Kalibrierung als Einzelkalibrierung durchgeführt
werden.