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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 329 Abb.458: ► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Sender S. Falls die Schrauben von der Seite nicht zugän…
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12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
328 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8.2.2 Vorbereitende Tätigkeiten
► Fahren Sie den Tisch in die Wechselposition (GUI-Funktion).
► Fahren Sie das Expansionsblech nach oben (GUI-Funktion).
► Senken Sie den Expansionsring ab. → Expansionsring in unterster Position (GUI-Funktion).
► Stellen Sie sicher, dass der Die-Ejector abgesenkt ist.
► Schalten Sie das SWS sowie die SIPLACE CA aus.
► Bauen Sie das SWS aus.
► Entfernen Sie die beiden Expansionsbleche.
► Schließen Sie das SWS an die Stromversorgung an.
► Ein Luftanschluss wird nicht benötigt.
► Schalten Sie das SWS ein.
Die folgenden Tätigkeiten können im Not-Aus-Betrieb durchgeführt werden.
12.8.2.3 Justage (Ausrichten) des Durchhang-Sensors
Abb.457:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor liegt wie in der Abbildung vor. Die Expansionsbleche sind
demontiert.
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T
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Abb.458:
► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Sender S.
Falls die Schrauben von der Seite nicht zugänglich sind verwenden Sie einen gekürzten
Inbusschlüssel von oben.
Abb.459:
► Verwenden Sie die Bezugsfläche (rot schraffiert) zum Ausrichten der Sender-Montagehöhe.
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Abb.460:
► Ziehen Sie, wenn möglich, für die folgenden Schritte eine zweite Person hinzu.
► Drücken Sie die Fühlerlehre 0,1mm (1) mit dem Finger auf die Bezugsfläche. Das Ende der
Fühlerlehre soll dabei unter dem Sender S (2) sein.
► Drücken Sie mit dem anderen Finger den Sender in Richtung (3) (von Außen gesehen nach
links). Verschieben Sie dabei den Sender S in der Höhe (4), bis der Sender S (2) ganz leicht,
oder mit einem hauchdünnen Spalt zur Fühlerlehre eingestellt ist.
ð Wichtig ist, dass der Sender die Fühlerlehre (1) maximal nur leicht berührt, die Fühlerlehre
soll sich dabei nicht nach unten verbiegen!
ð Ein leichter Licht-Spalt zwischen Fühlerlehre und dem Sender S ist auch akzeptabel (5).
Abb.461:
► Eine zweite Person sollte nun die beiden Befestigungsschrauben des Sender S anziehen.
► Verwenden Sie bei Bedarf den gekürzten Inbusschlüssel, falls kein Schraubenzugang von der
Seite möglich ist.
► Kontrollieren Sie danach die Einstellung mit der Fühlerlehre.
●
Aufgrund der mechanischen Konstruktion fluchten der Sender S und Empfänger R nicht voll-
ständig.
●
Durch das Drücken des Sender S in die linke Position wurde zum Vorjustieren die beste Aus-
gangs-Einstellung erreicht.