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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 325 12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor Der Sender S sendet einen Lichtstrahl aus und der Empfäng…

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12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
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12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor
12.8.1.1 Aufbau der Baugruppe Durchhang-Sensor
Abb.451:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor besteht aus:
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T
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12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor
Der Sender S sendet einen Lichtstrahl aus und der Empfänger R empfängt diesen Lichtstrahl.
Je nachdem, wie stark der Lichtstrahl (Lichtintensität) des Senders S beim Empfänger R ankommt,
wird an der Auswerteeinheit ein Wert angezeigt.
An der Auswerteeinheit Sensick WLL180T gibt es folgende Funktionen:
Abb.452:
1. Lichtleiter vom Sender S und Empfänger R
2. Verriegelung der Lichtleiter
3. Auswahltaste (+ / -)
4. Mode-Taste
5. Teach-Taste
6. Eingestellter Schaltschwellen-Wert (Grün)
Dieser Wert muss geteacht werden.
Wird eine Lichtintensität unter diesem Schaltschwellen-Wert empfangen, so wird kein Signal
ausgegeben.
7. Anzeige der Lichtintensität am Empfänger (Rot)
Dieser Wert zeigt an, wieviel Lichtintensität vom Sender S noch am Empfänger R ankommt.
Da hier davon ausgegangen wird, dass Sender S und Empfänger R optimal auf die Einbauge-
gebenheiten eingestellt wurden, sind diese Werte absolut.
8. OUT-Signal
Abb.453:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) größer als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist noch nicht soweit unterbrochen und es besteht keine Gefahr, dass die Wa-
ferfolie an der Basiseinheit streift.
●
Ein Signal (OUT leuchtet Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf vom Gripper in
den Waferlift gezogen werden.
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Abb.454:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) kleiner als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist soweit unterbrochen und es besteht Gefahr, dass die Waferfolie an der Ba-
siseinheit streift.
●
Kein Signal (OUT leuchtet nicht Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf nicht vom
Gripper in den Waferlift gezogen werden.
12.8.1.3 Erklärung der Lichtintensität in Verbindung mit dem Foliendurchhang
Lichtstrahl nicht unterbrochen
Abb.455:
●
Der Sender S (1) und der Empfänger R (2) sind knapp über dem Expansionsring (Ring) mon-
tiert.
●
Der Lichtstrahl vom Sender S (1) wird nicht komplett ausgestrahlt, da aufgrund der Freiraum-
höhe zum Waferwechsel der Sender S (1) nicht zu hoch sein darf.
●
Deswegen tritt nicht der komplette Lichtstrahl vom Sender aus und wird vom Expansionsring
abgelenkt oder blockiert.
●
Aufgrund der Streuung des Lichtstrahls kommt am Empfänger R (2) ein gewisser Prozentsatz
an Lichtintensität (I) im Verhältnis zum ausgesendeten Lichtstrahl an.
●
Bei optimaler Einstellung und Ausrichtung zwischen Sender S (1) und Empfänger R (2) ist
hiermit die Anzeige an der Auswerteeinheit für die Lichtintensität maximal (absolut).
●
Ziel beim mechanischen Ausrichten des Sender S zum Empfänger R ist hier der höchste zu
erreichende Wert der empfangenen Lichtintensität.
●
Dieser Wert wird als 100% angesehen.