00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第490页
18 Anhang 18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung 490 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.3.5 Motor/Encoder-Spezifikation: 18.3.5.1 Motor-1(A) = Wafertisch-X Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, …
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 489
Das Signal "FLx" (forward-limit) schaltet den Motor in Drehrichtung (siehe Flansch) im Uhrzeiger-
sinn ab.
Das Signal "RLx" (reverse-limit) schaltet den Motor in Drehrichtung (siehe Flansch) gegen den Uhr-
zeigersinn ab.
Mit einen "ABORT" Signal (Anschluss auf der Adapterplatinen DMC-INT1(2)) wird die Motorspan-
nung über den Kontroller das Amplify-enable-Signal "AENx" freigeschalten.
Ist das Signal frei geschaltet, liegt am "ABORT" +5V an.
Ist das Signal nicht frei geschaltet, liegt am "ABORT" GND (geschaltet vom K3) an.
Die Encoder- und Hall-Sensoren werden mit der Rechnerspannung +5V versorgt, durchgeschleift
durch den Motor-Controller DMC-18x6 und Servoverstärker AMP-19540(20).
Die Encoder (Shaft-Encoder bei rotorischen Antrieb, Linear-Encoder bei Linearmotor) arbeiten mit
5V Differenzial Impuls-Signalen, Spur-A, Spur-B und Index.
Die Encodersignale werden direkt über den Verstärker AMP-19540(20) mit dem 100pol. Kabel wei-
tergeleitet zum Motor-Controller DMC-18x6.
Die drei Hallsensoren (120° verschoben, passend zu den Wicklungen) arbeiten mit 5V-TTL-Signa-
len und werden direkt dem Servoverstärker AMP-19540(20) für die Phasen-Strombeschaltung zu-
geführt.
18.3.2 Motor-Controller DMC-18x6
Siehe Dokument "DMC-18x6.pdf " Seite 9 bis 13 "Chapter-1 Overview"
18.3.3 Servoverstärker AMP-19540(20)
Siehe Dokument "AMP19540 _manuel.pdf"
18.3.4 Signalverfolgung Motor 1-10
Die 3phasigen bürstenlosen Servomotoren mit Hall-Kommutierung und Differential-Impuls-Encoder
werden direkt von der AMP-19540(20) mit eins zu eins Kabeln (1x Kabel Motor, 1x Kabel Encoder/
Hall) über Anschluss-Adapterplatinen angeschlossen.
Die Motoren sind nach dem modularen Aufbau durchnummeriert von 1 bis 10 und mit dem nachfol-
genden Label auf den Verstärker und Kabel gekennzeichnet.
Die Motoren mit Kabel haben die Kennzeichnung "MP x". Die Encoder/Hallkabel haben die Kenn-
zeichnung "ENC x"
Kontroller DMC-1866(86) Select = "Term_0"
●
Motor-1(A) = Wafertisch-X "MP1" ---- "MOT-WX"
●
Motor-2(B) = Wafertisch-Y "MP2" ---- "MOT-WY"
●
Motor-3(C) = Die-Ejector Tool-Changer "MP3" ---- "MOT-DEC" **Optional CSM12**
●
Motor-4(D) = Die-Ejector Needle "MP4" ---- "MOT-DE"
●
Motor-5(E) = Flip-Rotate "MP5" ---- "MOT-FR"
●
Motor-6(F) = Flip Z-Achse (Pick-up) "MP6" ---- "MOT-FZ" ** = Linearmotor **
●
Motor-7(G) = Die-Attach- Rotate "MP7" ---- "MOT-DA"
●
Motor-8(H) = Flip X-Achse (Hand-over) "MP8" ---- "MOT-FX" ** = Linearmotor **
Kontroller DMC-1826 Select = "Term_1"
●
Motor-9(A) = Wafer Magazinlift "MP9" ---- "MOT-WL"
●
Motor-10(B) = Wafer-Changer "MP10" ---- "MOT-WH"
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
490 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3.5 Motor/Encoder-Spezifikation:
18.3.5.1 Motor-1(A) = Wafertisch-X
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 040H-017E-048F (nur
CSM8)
●
Maximales Drehmoment Mmax = 51,1 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 6,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 5300 U/min
●
Anschlusswiderstand = 3,7 Ohm
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 040H-027E-048F (nur
CSM12)
●
Maximales Drehmoment Mmax = 76,5 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 9,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 5500 U/min
●
Anschlusswiderstand = 1,9 Ohm
Shaft-Encoder, Typ SCANCON-2RMHF-IDC-2000
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 2000-cpr, entspricht 8000-Count
●
Spindelsteigung Wafertisch-X = 5mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 0,625 µm
18.3.5.2 Motor-2(B) = Wafertisch-Y
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 040H-027E-048F (nur
CSM8)
●
Maximales Drehmoment Mmax = 76,5 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 9,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 5500 U/min
●
Anschlusswiderstand = 1,9 Ohm
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 040H-037E-048F (nur
CSM12)
●
Maximales Drehmoment Mmax = 90,6 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 11,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 5900 U/min
●
Anschlusswiderstand = 1,2 Ohm
Shaft-Encoder, Typ SCANCON-2RMHF-IDC-2000
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 2000-cpr, entspricht 8000-Count
●
Spindelsteigung Wafertisch-X = 5mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 0,625 µm
18.3.5.3 Motor-3(C) = Die-Ejector Tool-Changer
Motor mit Encoder noch nicht spezifiziert.
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 491
18.3.5.4 Motor-4(D) = Die-Ejector Needle
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ Hatherway QB01701-C
●
Maximales Drehmoment Mmax = 119 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 14 Aeff
●
Leerlaufdrehzahl n = 15488 U/min
●
Anschlusswiderstand = 6,5 Ohm
Shaft-Encoder, Typ HP - HEDL-5540
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial-Signale mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 500-cpr, entspricht 2000-Count
●
Spindelsteigung Die-Ejector = 2mm/Umdrehung
●
Auflösung pro Count = 1,0 µm
18.3.5.5 Motor-5(E) = Flip-Rotate
Bürstenloser Servomotor mit Hallsensoren-120°, Typ MSSI 055H-015E-048F
●
Maximales Drehmoment Mmax = 44,8 Ncm
●
Maximaler Strom Imax = 2,0 Aeff
●
Nenndrehzahl n = 1750 U/min
●
Anschlusswiderstand = 12,1 Ohm
Hohlwelle-Encoder, Typ Numerik-Jena RIK-2C 39/2048 M7-RZ
●
Mit integrierter Offset- und Amplitudenregelung
●
Teilkreisdurchmesser 39mm, Strichzahl =2048
●
In Stecker integrierter 10-fach Signalinterpolation
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial mit Index-Spur A,B,I
●
Pulse pro Umdrehung = 2048-cpr x 10-fach = 20480-cpr, entspricht 81920-Count
●
Auflösung pro Count an der Tool-Spitze = 3,835µm
18.3.5.6 Motor-6(F) = Flip-Z (Pick-up) Motor-8(H) = Flip-X (Hand-over)
3-Phasen Linearmotor mit Hallsensoren-120°, Typ ETEL TILS03-030-0018-CNN-20B
●
Maximal Hub = 12mm
●
Maximale Beschleunigung = 200 m/s²
●
Maximale Geschwindigkeit = 1,3 m/s
●
Maximale Leistung (Peak-force) = 19,9 N
●
Maximaler Strom Imax = 3,1 Aeff
●
Anschlusswiderstand = 4,1 Ohm
Linear-Encoder, Typ RSF-Elektronik MS-100VHS
●
Ausgangssignal RS422 = 5V Differenzial mit Index-Spur. A,B,I
●
Pulse Abstand = 2µm/cp, entspricht 0,5µm/Count
●
Index-Signal I = 1mm vor oberen mechanischen Anschlag