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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher 288 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.394: ► Entfernen Sie das Abdeckblech. 12.4.3 Demontage an Klemm- und Hubzylinderseite Zum weiteren Ausbau des Wa…
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 287
Abb.392:
Nun muss das Abdeckblech der Klemmeinheit wie folgt entfernt werden:
Abb.393:
► Entfernen Sie die vier Kreuzschlitzschrauben (1) bis (4) und die Inbusschraube (5). Die Inbus-
schraube dient gleichzeitig zur Befestigung des Klemmzylinders unter dem Abdeckblech.
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12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
288 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.394:
► Entfernen Sie das Abdeckblech.
12.4.3 Demontage an Klemm- und Hubzylinderseite
Zum weiteren Ausbau des Wafer-Stretchers muss nun der Zugang zu den 4x4 Befestigungs-
schrauben vorbereitet werden.
Abb.395:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube des Klemmzylinders (1).
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Die obere Befestigungsschraube (2) wurde schon im Zuge der Demontage des Abdeckblechs aus-
gebaut.
Abb.396:
► Klappen Sie den Klemmzylinder (1) nach Außen weg.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (2) des Wafer-Stretchers vom darunterliegen-
den Führungswagen.
Abb.397:
► Lösen Sie den Hubzylinder.