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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen 356 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.500: ► Schrauben Sie die Masseverbindung der GALIL-Karte ab. Abb.501…
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 355
Abb.498:
► Der Zugang zu den GALIL-Karten AMP-19540 AXIS1-4 (1) und AMP-19540 AXIS5-8 ist ziem-
lich verbaut und daher schwer zugänglich.
TIPP: Um die Demontage der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (1) zu erleichtern, kann man die
Vakuumpumpe inklusive Schutzbügel (3) demontieren.
Nachfolgend wird der Ausbau ohne demontierte Vakuumpumpe gezeigt.
Abb.499:
► Ziehen Sie das Einschubblech nach vorne (1).
Achten Sie darauf, dass es nicht zu sehr kippt und die hinteren Kabel des Einschubes nicht
allzu sehr gespannt werden.
► Entfernen Sie sämtliche Kabel an der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (2).
HINWEIS
Im Bild kann man im Turm die GALIL-Karte AMP-19520 für die Waferlift- und Wafer-
Wechsler-Achsen sehen (3).
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13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
356 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.500:
► Schrauben Sie die Masseverbindung der GALIL-Karte ab.
Abb.501:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben der GALIL-Karte am Einschubrahmen.
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Abb.502:
► Entnehmen Sie die GALIL-Karte nach oben aus dem SWS.