00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第146页
7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen 146 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 SWS 2/4 Abb.177: ► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach links (gegen den Uhrzeigersinn).…
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 145
Abb.175:
► Legen Sie die Grundplatte auf der Platte des SWS (2) ab. Die Aussparung des Die-Ejectors
(3) zeigt in Richtung Waferlift.
Abb.176: Die-Ejector (am Beispiel SWS 2/4)
► Greifen Sie nun mit der linken Hand in die Aussparung für den Die-Ejector, heben diesen
leicht an und greifen mit der rechten Hand unter die Vorderseite.
Das Bild ist für einen Die-Ejector bei einem SWS 2/4.
Bei einem SWS 1/3 muss man mit der rechten Hand in die Aussparung greifen und mit der
linken Hand die Vorderseite halten.
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
146 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
SWS 2/4
Abb.177:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach links (gegen den
Uhrzeigersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.
SWS 1/3
Abb.178:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach rechts (im Uhrzei-
gersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 147
Abb.179: Grundplatte im SWS
Abb.180:
► Setzen Sie die vier Befestigungsschrauben der Grundplatte ein.
Ziehen Sie diese Schrauben zunächst nur locker an, damit die Grundplatte zum Ausrichten
beweglich bleibt.
Die beiden hinteren Schrauben (Richtung Waferlift) sind schwer zugänglich.