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2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS) 2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen 26 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 2.3.1 Baugruppenübersicht des Bereiches Wafertisch Abb.7: Baugruppenübersich…
2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)
2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 25
2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen
Abb.6: Explosionsansicht der Hauptbaugruppen
1 Versorgungseinheit 2 Die-Ejector
3 Grundrahmen 4 X/Y-Unit
5 Waferaufnahme 8" oder 12" auf X/Y-
Unit montiert
6 Flip-Unit
7 Barcodescanner an Seite Greifer mon-
tiert, oder (8) Barcodescanner an Maga-
zinlift-Seite montiert
8 Barcodescanner an Magazinlift-Seite
montiert
9 Wafer-Magazinlift 10 Wafer-Wechsler-Einheit
2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)
2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen
26 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
2.3.1 Baugruppenübersicht des Bereiches Wafertisch
Abb.7: Baugruppenübersicht des SWS
1. Klemmeinheit
2. Waferkamera
3. Flip-Unit
4. Wafer-Aufnahme
5. Führung
2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)
2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
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2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen
2.4.1 Versorgungseinheit
Abb.8: Versorgungseinheit
1. Manometer Druckluftversorgung
2. Spannungsversorgung
3. Kommunikation mit dem Bestücker
4. CAN-Bus
5. Druckluftanschluss (abgewandelter Adapter Blindstecker [03011592‑xx]
6. LAN1
7. LAN2