00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第488页

18 Anhang 18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung 488 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung 18.3.1 Konzept Motorsteuerung Die Motorsteuerung ist mit dem Galil-Motor-Controlle…

100%1 / 510
18 Anhang
18.2 Spezifikation: Power-Versorgung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 487
18.2.3 Transformator-T1 mit Gleichrichtung und Anschlüssen
3-Phasen-Transformator mit nachfolgend integrierter Gleichrichtung für 24VDC und 48VDC.
Type: 4AV3596-0EC40-0A, Leistung: 690VA, Schutzart: IP00, Isolierstoffklasse: T60/B
Aufbau
●
Eingangsspannung: 415 / 400 / 380 / 230 / 204VAC, 50/60Hz,
●
Ausgangsspannung/Strom: 230VAC/3A, 48VDC/13A, 24VDC/8A
●
Mit zwei 2pol. Leistungsschutzschaltern zwischen der Sekundärwicklung und der Gleichrich-
tung.
Für 24VDC = Schutzschalter 5SY62/D8A
Für 48VDC = Schutzschalter 5SY62/D20A
Einspeisung
Die Einspeisung (3-Phasen-Wechselstrom) ist für fünf verschiedene Netzspannungen ausgelegt
und auf die jeweiligen Klemmen (Beschriftung mit Spannungsangabe 415 / 400 / 380 / 230 / 204V)
anzuschließen. Die Eingangsspannungen 200VAC (USA) und 210VAC (Japan) sind auf die Klem-
men 204V anzuschließen.
Der vorgeschaltete Überstrom-Schutzschalter Q2 ist auf Minimum 6A Auslösestrom einzustellen.
Bei der Maschinen-Option mit Waferheizung ist Q2 auf 10A Auslösestrom einzustellen.
Abgriff 230VAC
Die Ausgangsspannung 230VAC/3A (Primärabgriff T1 auf Klemme 230V und 0V) wird nur für das
Rechnernetzteil verwendet. Das Rechnernetzteil ist mit dem Leitungsschutzschalter F1 (4 A / 2pol)
abgesichert.
Die Rechnernetzspannung 230V liegt beim Einschalten des Hauptschalters Q1 an.
Abgriff 3x230VAC (für die Option Waferheizung)
Die Ausgangsspannung 3x230VAC (Primärabgriff T1 auf Klemme 3x230V) wird für die Waferhei-
zung verwendet. Die Steuerung ist für die Nachrüstung modular aufgebaut und ist mit dem Lei-
tungsschutzschalter F5 (10 A / 3pol) abgesichert.
Die Verbraucher sind zwei Heizwendel mit je 1000W und ein Querstromlüfter mit 23 W.
Abgriff 24VDC, Leerlauf ca. 26VDC
Die Ausgangsspannung 24 VDC / 8 A (2-poliger Schutzschalter-8A zwischen Wechselspannung
und Gleichrichtung) versorgt den Monitor und die Kontrollspannung für Aktoren und Sensoren.
Die Monitorspannung ist mit dem Leitungsschutzschalter F2 (2 A / 1pol) abgesichert und liegt beim
eingeschalteten Hauptschalter an.
Die Kontrollspannung ist mit dem Leitungsschutzschalter F3 (6 A / 1 pol) abgesichert und liegt
beim eingeschalteten Hauptschalter an den Klemmen X3-1..8 = GND und X3-13..16 = 24 V an.
Für Antriebe mit Not-Aus-Funktion wird eine 24V/F3 Spannung über die vorgeschalteten Schütze
K1/K2 an der Klemme X3-17 bereitgestellt.
Das 24V GND Potential ist über die Klemmen X3-8 und 9 mit Erdung verbunden.
Abgriff 48VDC, Leerlauf ca. 50VDC
Die Ausgangsspannung 48 VDC / 13 A (2-poliger Schutzschalter-20A zwischen Wechselspannung
und Gleichrichtung) versorgt die drei Verstärker AMP-19540(20) für die dafür nachfolgenden Ser-
vomotoren.
Die Spannung 48 VDC ist mit dem Leitungsschutzschalter F4 (13A/1polig) abgesichert und wird
über die vorgeschalteten Schütze K1/K2 in Reihe an der Klemme X2-6/7 bereitgestellt.
Bei Not-Aus-Funktion wird die Spannung 48 DC über die Schütze K1 und K2 ausgeschaltet.
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
488 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
18.3.1 Konzept Motorsteuerung
Die Motorsteuerung ist mit dem Galil-Motor-Controller DMC-18x6 (PCI-BUS) und mit dem Galil-
Servoverstärker AMP-19540(20) aufgebaut.
Der Aufbau ist modular bestückt und richtet sich nach der modularen Maschinenbestückung.
Bei der minimalen Maschinenbestückung ohne Die-Attach-Unit und ohne Wafer-Handler werden
sechs Servomotoren betrieben.
Bei der maximalen Maschinenbestückung werden zehn Servomotoren betrieben.
18.3.1.1 Bestückvarianten der Motorsteuerung
Bestückung 1: ohne Die-Attach-Unit, ohne Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1866 (6 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Bestückung 2: mit Die-Attach-Unit, ohne Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1886 (8 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
Bestückung 3: ohne Die-Attach-Unit, mit Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1866 (6 Achsen)
●
1x Motor-Controller DMC-1826 (2 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Bestückung 4: mit Die-Attach-Unit, mit Wafer-Handler
●
1x Motor-Controller DMC-1886 (8 Achsen)
●
1x Motor-Controller DMC-1826 (2 Achsen)
●
2x Servoverstärker AMP-19540 (4 Achsen)
●
1x Servoverstärker AMP-19520 (2 Achsen)
Die Motor-Controller DMC-1866(86) und DMC-1826 steuern jeden Servoverstärker
AMP-19540(20) über ein 100poliges Kabel.
Die Spannungsversorgung (Zwischenkreisspannung) für die Verstärker AMP-19540(20) beträgt
48VDC.
Die Zwischenkreisspannung ist abgesichert über F4/13A und wird aus-/eingeschaltet mit K1 und
K2 in Reihe, initiiert über die Not-Aus-Funktion.
Etliche Motor-Kontrollsignale werden über den Verstärker AMP-19540(20), Stecker AUX-IO J3x
weitergeleitet zu den Adapterplatinen DMC-INT1(2) (siehe auch I/O System).
Die jeweils zu dem Motor gehörenden Limit- und Referenzsensoren werden auf den Adapterplati-
nen DMC-INT1(2) angeschlossen.
Die Motor-Kontrollsignale (je Motor 1x Referenz, 2x Limit, 1x Amplify-enable) werden mit LEDs an
den Adapterplatinen DMC-INT1(2) angezeigt.
Die Referenz- und Limitsensoren an den "DMC18x6" können mit NPN oder auch mit PNP betrie-
ben werden.
Die gemeinsame "LSCOM"-Verbindung für die Sensoren zu den "DMC18x6" wird über die Adap-
terplatine "DMC-INT1(2)" mit Jumper "J2(J4)" auf COM24 gelegt, sodass die Sensoren mit PNP-
Logik arbeiten.
Für die Run-Freischaltung der Motoren muss das jeweilige Limitsignal auf +24V liegen.
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 489
Das Signal "FLx" (forward-limit) schaltet den Motor in Drehrichtung (siehe Flansch) im Uhrzeiger-
sinn ab.
Das Signal "RLx" (reverse-limit) schaltet den Motor in Drehrichtung (siehe Flansch) gegen den Uhr-
zeigersinn ab.
Mit einen "ABORT" Signal (Anschluss auf der Adapterplatinen DMC-INT1(2)) wird die Motorspan-
nung über den Kontroller das Amplify-enable-Signal "AENx" freigeschalten.
Ist das Signal frei geschaltet, liegt am "ABORT" +5V an.
Ist das Signal nicht frei geschaltet, liegt am "ABORT" GND (geschaltet vom K3) an.
Die Encoder- und Hall-Sensoren werden mit der Rechnerspannung +5V versorgt, durchgeschleift
durch den Motor-Controller DMC-18x6 und Servoverstärker AMP-19540(20).
Die Encoder (Shaft-Encoder bei rotorischen Antrieb, Linear-Encoder bei Linearmotor) arbeiten mit
5V Differenzial Impuls-Signalen, Spur-A, Spur-B und Index.
Die Encodersignale werden direkt über den Verstärker AMP-19540(20) mit dem 100pol. Kabel wei-
tergeleitet zum Motor-Controller DMC-18x6.
Die drei Hallsensoren (120° verschoben, passend zu den Wicklungen) arbeiten mit 5V-TTL-Signa-
len und werden direkt dem Servoverstärker AMP-19540(20) für die Phasen-Strombeschaltung zu-
geführt.
18.3.2 Motor-Controller DMC-18x6
Siehe Dokument "DMC-18x6.pdf " Seite 9 bis 13 "Chapter-1 Overview"
18.3.3 Servoverstärker AMP-19540(20)
Siehe Dokument "AMP19540 _manuel.pdf"
18.3.4 Signalverfolgung Motor 1-10
Die 3phasigen bürstenlosen Servomotoren mit Hall-Kommutierung und Differential-Impuls-Encoder
werden direkt von der AMP-19540(20) mit eins zu eins Kabeln (1x Kabel Motor, 1x Kabel Encoder/
Hall) über Anschluss-Adapterplatinen angeschlossen.
Die Motoren sind nach dem modularen Aufbau durchnummeriert von 1 bis 10 und mit dem nachfol-
genden Label auf den Verstärker und Kabel gekennzeichnet.
Die Motoren mit Kabel haben die Kennzeichnung "MP x". Die Encoder/Hallkabel haben die Kenn-
zeichnung "ENC x"
Kontroller DMC-1866(86) Select = "Term_0"
●
Motor-1(A) = Wafertisch-X "MP1" ---- "MOT-WX"
●
Motor-2(B) = Wafertisch-Y "MP2" ---- "MOT-WY"
●
Motor-3(C) = Die-Ejector Tool-Changer "MP3" ---- "MOT-DEC" **Optional CSM12**
●
Motor-4(D) = Die-Ejector Needle "MP4" ---- "MOT-DE"
●
Motor-5(E) = Flip-Rotate "MP5" ---- "MOT-FR"
●
Motor-6(F) = Flip Z-Achse (Pick-up) "MP6" ---- "MOT-FZ" ** = Linearmotor **
●
Motor-7(G) = Die-Attach- Rotate "MP7" ---- "MOT-DA"
●
Motor-8(H) = Flip X-Achse (Hand-over) "MP8" ---- "MOT-FX" ** = Linearmotor **
Kontroller DMC-1826 Select = "Term_1"
●
Motor-9(A) = Wafer Magazinlift "MP9" ---- "MOT-WL"
●
Motor-10(B) = Wafer-Changer "MP10" ---- "MOT-WH"