00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第187页
8 Flip-Unit 8.4 Kalibrierung – Flip-Unit Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 187 8.4.4.1 Korrektur in X-Richtung (Segment 1) Für die Korrektur in X-Richtung (Drehrichtung des Flip Kopfes) gibt es zwei Mög…
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
186 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4.4 Segment-Offsets korrigieren
Die Offset Korrektur von Segment 1 und Segment 2 kann über die Parameter Offset segment 1
oder Offset segment 2 (siehe 15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrie-
ren" [}385]).
Alternative:
Abb.241: Einstellmuttern und Konterschrauben für mechanische X- und Y-Einstellung
Alternativ kann die Einstellung mechanisch über die Einstellmuttern (1) und Konterschrauben (2)
an den Segmenten erfolgen.
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 187
8.4.4.1 Korrektur in X-Richtung (Segment 1)
Für die Korrektur in X-Richtung (Drehrichtung des Flip Kopfes) gibt es zwei Möglichkeiten:
●
(1) Korrektur des X-Offsets in der SWS-GUI über den Parameter Offset segment 1 (siehe
15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren" [}385]).
Ein positiver Eintrag verschiebt den Abdruck nach links, ein negativer Offset Eintrag nach
rechts.
●
(2) Verschieben des Abdrucks über die Einstellmutter am Segment.
Zum Verstellen der Einstellmutter muss zuerst die Konterschraube gelockert werden (s.u.).
Abb.242: Segment 1 - Lockern der Konterschraube (X-Richtung)
► Halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel fest und öffnen Sie die Konterschraube
mit dem Inbusschlüssel.
Abb.243: Segment 1 - Drehen der X-Einstellmutter
Durch Drehen der Einstellmutter kann der Segment-Offset korrigiert werden:
Einstellung gültig für Segment 1:
●
Verschieben des Abdrucks nach rechts -> Drehen der X-Einstellmutter im Uhrzeigersinn.
●
Verschieben des Abdrucks nach links -> Drehen der X-Einstellmutter gegen Uhrzeigersinn.
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
188 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4.4.2 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1)
In Y-Richtung kann die Korrektur des Offsets nur über die Einstellmutter am entsprechenden Seg-
ment erfolgen.
Zum Verstellen der Einstellmutter muss zuerst die Konterschraube gelockert werden (s.u.).
Abb.244: Segment 1 - Lockern/Anziehen der Konterschraube (Y-Richtung)
► Halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel fest und Lockern Sie die Konter-
schraube mit dem Inbusschlüssel.
Abb.245: Segment 1 - Drehen der Einstellschraube (Y-Richtung)
Effekt der Y-Einstellmutter
●
Verschieben des Abdrucks nach unten -> Drehen der Y-Einstellmutter im Uhrzeigersinn.
●
Verschieben des Abdrucks nach oben -> Drehen der Y-Einstellmutter gegen den Uhrzeiger-
sinn.
► Nach erfolgter Korrektur halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel in Position und
ziehen Sie die Konterschraube mit dem Inbusschlüssel an.