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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 165 Abb.212: ► Setzen Sie die neue Dichtungseinheit inkl. O-Ring ein und schieben S…

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7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
164 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.210:
► Lockern oder entfernen Sie die Madenschraube (1) (Inbus 1,5) zur Fixierung der Dichtungs-
einheit(2).
Abb.211:
► Ziehen Sie die Dichtungseinheit nach oben heraus.
Falls die Dichtungseinheit sich nicht herausziehen lässt, klemmen Sie einen kleinen Inbus-
schlüssel in die Bohrung der Dichtungseinheit und versuchen Sie damit die Dichtungseinheit
nach oben zu ziehen.
► Danach sollte die Dichtungseinheit zu entnehmen sein.
► Nehmen Sie die neue komplette Dichtungseinheit und fetten Sie den O-Ring mit UNISILCON
L250L (dünner Schmierfilm).
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 165
Abb.212:
► Setzen Sie die neue Dichtungseinheit inkl. O-Ring ein und schieben Sie diese bis zum
Anschlag nach unten.
Abb.213:
► Schrauben Sie die Madenschraube (4) in die dafür vorgesehene Gewindebohrung (3) und
fixieren Sie die Dichtungseinheit (vorsichtig festziehen).
HINWEIS
Alte Nadel-Ausstecheinheit mit Bajonettverschluss
► Wenn die seitliche Inbusschraube an der Zentriereinheit schwer zugänglich ist, müs-
sen Sie ggf. die vier Befestigungsschrauben des Arretierungsrings entfernen und den
Ring abnehmen.
► Setzen Sie den Arretierungsring wieder ein und befestigen Sie ihn, bevor Sie die seitli-
che Inbusschraube festziehen.
► Komplettieren Sie den Die-Ejector.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
166 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
7.5.2 Magnetventil für das Vakuum am Die-Ejector tauschen
Ein- und Ausschalten
Das Magnetventil schaltet das Vakuum für das Ansaugen und Abstoßen der Folie am Die-Ejector
an und aus.
► Steuern Sie das Magnetventil an.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Die ejector.
●
Vacuum ejection unit schaltet das Vakuum ein- und aus.
Magnetventil tauschen
► Stecken Sie die pneumatischen und elektrischen Anschlüsse am Magnetventil (OUT10) ab.
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben und entfernen Sie das Magnetventil.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen Verbin-
dungen wieder her.
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion und Dichtheit:
– Ein- und Ausschalten.
– Nadel-Einheit auf Dichtheit prüfen.
7.5.3 Magnetventil für das Hoch- und Runterfahren der Z-Achse
Ein- und Ausschalten
Das Magnetventil schaltet den Hubzylinder für das Hoch- und Runterfahren der Z-Achse.
► Steuern Sie das Magnetventil an.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Die ejector.
●
DO07 Ejector unit upfährt die Z-Achse hoch.
●
DO08 Ejector unit downfährt die Z-Achse runter.
Zwei Näherungsschalter überwachen die beiden Endpositionen für die obere und untere Position
der Z‑Achse.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter:
– DI05 Ejection unit down
– DI06 Ejection unit up
Magnetventil tauschen
► Stecken Sie die pneumatischen und elektrischen Anschlüsse der Magnetventile OUT7 und
OUT 8 ab.
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben und entfernen Sie das Magnetventil.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.