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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 355 Abb.498: ► Der Zugang zu den GALIL-Karten AMP-19540 AXIS1-4 (1) und AMP-1…

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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
354 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.3.1 Ausbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen
Der Ausbau des Servoverstärkers AMP-19520 im Wafer-Lift-Boden wird nicht gesondert beschrie-
ben. Die Vorgehensweise ist analog.
Die Beschreibung zeigt den Ausbau der AMP-19540 für AXIS1-4. Diese Karte ist am schwierigsten
zugänglich.
► Bauen Sie das SWS aus der Maschine aus (siehe 4.1 "SWS ausbauen" [}59]).
► Klappen Sie den Waferlift zur Seite (siehe 4.3 "Magazinlift aufschwenken" [}65]).
Abb.496:
► Entfernen Sie die beiden Inbusschrauben des Einschubblechs (wo der BoxPC montiert ist).
Abb.497:
► Entfernen Sie das rechte Seitenblech.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 355
Abb.498:
► Der Zugang zu den GALIL-Karten AMP-19540 AXIS1-4 (1) und AMP-19540 AXIS5-8 ist ziem-
lich verbaut und daher schwer zugänglich.
TIPP: Um die Demontage der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (1) zu erleichtern, kann man die
Vakuumpumpe inklusive Schutzbügel (3) demontieren.
Nachfolgend wird der Ausbau ohne demontierte Vakuumpumpe gezeigt.
Abb.499:
► Ziehen Sie das Einschubblech nach vorne (1).
Achten Sie darauf, dass es nicht zu sehr kippt und die hinteren Kabel des Einschubes nicht
allzu sehr gespannt werden.
► Entfernen Sie sämtliche Kabel an der GALIL-Karte AMP-19540 AXIS1-4 (2).
HINWEIS
Im Bild kann man im Turm die GALIL-Karte AMP-19520 für die Waferlift- und Wafer-
Wechsler-Achsen sehen (3).
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356 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.500:
► Schrauben Sie die Masseverbindung der GALIL-Karte ab.
Abb.501:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben der GALIL-Karte am Einschubrahmen.