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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 163 7.5.1.5 Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an der Zentriereinheit d…
7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
162 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.206:
► Überprüfen Sie die schwarze Nadelkappe. Diese muss komplett auf dem Grundkörper des
Ausstechsystems aufsitzen.
(4) Spalt → Vakuumleckage → schlecht
(5) Kein Spalt → gut
Abb.207:
► Überprüfen Sie die geschliffene Dichtfläche und die Vakuumbohrung(1) des Ausstechsys-
tems auf Beschädigungen und Verunreinigungen.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 163
7.5.1.5 Austausch der Dichtungseinheit und des O-Ringes an der Zentriereinheit des Die-
Ejectors
Folgende Beschreibung wird anhand der neuen Nadel-Ausstecheinheit (magnetisch) erklärt. Für
die Nadel-Ausstecheinheit mit Bajonettverschluss ist die Vorgehensweise identisch.
Teile
Abb.208:
Folgende Ersatzteile sind erhältlich:
●
[00387580-xx] Dichtungseinheit
(Saugadapter (1) inklusive Vakuumsauger (2) und O-Ring (3) vormontiert)
●
[00201141-xx] O-Ring 3*1 NBR 70 B (ist als Wartungs-/Verbrauchsteil definiert)
Vorgehensweise
Abb.209:
► Entfernen Sie den Pneumatikanschluss mithilfe eines Gabelschlüssels. Achten Sie dabei auf
die Dichtungen.
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Abb.210:
► Lockern oder entfernen Sie die Madenschraube (1) (Inbus 1,5) zur Fixierung der Dichtungs-
einheit(2).
Abb.211:
► Ziehen Sie die Dichtungseinheit nach oben heraus.
Falls die Dichtungseinheit sich nicht herausziehen lässt, klemmen Sie einen kleinen Inbus-
schlüssel in die Bohrung der Dichtungseinheit und versuchen Sie damit die Dichtungseinheit
nach oben zu ziehen.
► Danach sollte die Dichtungseinheit zu entnehmen sein.
► Nehmen Sie die neue komplette Dichtungseinheit und fetten Sie den O-Ring mit UNISILCON
L250L (dünner Schmierfilm).