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7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 147 Abb.179: Grundplatte im SWS Abb.180: ► Setzen Sie die vier Befestigungsschrauben der Grundplatte ein. Ziehen Sie diese Schr…
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
146 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
SWS 2/4
Abb.177:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach links (gegen den
Uhrzeigersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.
SWS 1/3
Abb.178:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach rechts (im Uhrzei-
gersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 147
Abb.179: Grundplatte im SWS
Abb.180:
► Setzen Sie die vier Befestigungsschrauben der Grundplatte ein.
Ziehen Sie diese Schrauben zunächst nur locker an, damit die Grundplatte zum Ausrichten
beweglich bleibt.
Die beiden hinteren Schrauben (Richtung Waferlift) sind schwer zugänglich.
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7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
148 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.181:
► Setzen Sie die Omega-Feder ein. Die Bohrung (4) in der Omega-Feder wird in den Halte-
pin(5) der Aussparung geführt.
Abb.182:
► Drücken Sie die Omega-Feder nach unten, bis Sie vollständig eingerastet ist.
► Schließen Sie danach alle Druckluft- und Vakuumleitungen, sowie alle Kabel an der Unter-
seite der Die-Ejector-Unit an (siehe 7.3.2 "Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem
SWS" [}125]).
► Schließen Sie das SWS wieder an die Stromversorgung an.
7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position
Werkzeug
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T-Schlüssel 5mm
●
Gabelschlüssel 5mm
●
Inbusschlüssel 3mm, 4mm
Voraussetzungen
●
SWS an Stromversorgung angesteckt