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15 Kalibrierung 15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 415 15.5.2 Produktdaten Abb.600: Die Produktdaten umfassen die Daten aller Kundenprodukte und Produktion…
15 Kalibrierung
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
414 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
– Die Position des Greifers vor dem Lift
Die Magazinplatte wird vom Greifer berührt.
– Die Position des Rahmenhalterstiftes
Der Rahmenhalter auf dem Wafertisch wird vom Greifer berührt.
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
15.5.1 Maschinendaten
Abb.598:
Die Maschinendaten umfassen die Kalibrierungsdaten aller Maschinensubsysteme.
► Mit Archive machine data… können Sie diese Daten auf einem Flash-Laufwerk sichern.
Abb.599:
► Um die Sicherung wiederherzustellen wählen Sie den Restore machine data….
► Stecken das Flash-Laufwerk ein und wählen die gewünschte Sicherungsdatei aus.
► Wählen Sie Start.
15 Kalibrierung
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 415
15.5.2 Produktdaten
Abb.600:
Die Produktdaten umfassen die Daten aller Kundenprodukte und Produktionsprozesse.
► Mit Archive product data… können Sie diese Daten auf einem Flash-Laufwerk sichern.
Abb.601:
► Um die Sicherung wiederherzustellen wählen Sie Restore product data….
► Stecken das Flash-Laufwerk ein und wählen die gewünschte Sicherungsdatei aus.
► Wählen Sie Start.
15 Kalibrierung
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
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