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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer 208 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen ► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungs…
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 207
Abb.266: Näherungsschalter an der Zahnriemenachse
1. Näherungsschalter
2. Zahnriemenachse
3. Befestigungsschraube
Aus-/Einbau
► Markieren Sie die ursprüngliche Einbauposition des Näherungsschalters mit einem Stift. Kon-
trollieren Sie die ungefähren Montagemaße (siehe oben).
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube des jeweiligen Näherungsschalters.
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine-Wafertisch (siehe 5.2.1 "Aufbau und
Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3)" [}68]) aus.
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter an die markierte Position und messen die Mon-
tagemaße (siehe oben).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
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9.2 Greifer
208 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen
► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings
(siehe 14.1 "SWS GUI - Service Settings" [}363]).
Für den Näherungschalter Forward Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in den mechanischen Endanschlag.
► Bevor die Achse den mechanischen Endanschlag erreicht (ca. 5 mm davor) muss der Nähe-
rungsschalter ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Reverse Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der maximale Verfahrweg ausgenutzt wird, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
Für den Näherungsschalter Reverse Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in die Abholposition um einen Wafer aus der Kassette zu entnehmen.
Der Greifer muss sicher den Wafer erreichen und mit den Backen klemmen können. Der
Näherungsschalter muss dann in dieser Position ca. 5mm weiter verschoben werden und
muss dann ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Forward Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der Wafer sicher abgeholt werden kann, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
9.2.5 Motor mit Kupplung für Waferhandling tauschen
Abb.267: Motor mit Kupplung für das Waferhandling
Der Motor fährt mit Hilfe der Zahnriemenachse den Greifer in die Entnahme- und in die Bearbei-
tungsposition.
Ausbau
► Entfernen Sie die Abdeckung der Motorplatine (1).
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9.2 Greifer
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► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Öffnen Sie die Kabelbinder und Kabelschellen und fädeln Sie die Motorleitung und das Flach-
bandkabel für den Encoder bis zur Motorplatine (1) aus.
► Stecken Sie die Kabel von der Motorplatine ab.
► Bewegen Sie die Zahnriemenachse so, dass in der Öffnung (2) am Motorflansch (3) die Kupp-
lung zu sehen ist.
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) des Motors am Motorflansch (3).
► Ziehen Sie den Motor (5) mit der Kupplung (4) heraus.
► Kontrollieren Sie die Kupplung (4) auf Beschädigung und tauschen diese ggf. aus.
Einbau
► Schieben Sie den Motor mit Kupplung auf die Antriebswelle. Drehen Sie die Kupplung dabei
so in Position, dass sie in das Gegenstück eingreift.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben (6) am Motorflansch fest.
► Schließen das Motor- und Encoderkabel an die Motorplatine an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
► Montieren Sie die Abdeckung der Motorplatine.
9.2.6 Magnetventile tauschen
Abb.268: Magnetventile für die Greifersteuerung
Das Magnetventil (Y1) steuert das Rauf- und Runterfahren des Greifers. Das Magnetventil (Y2)
steuert die Klemmung der Greiferbacken (auf/zu). Je nach Version sind die Magnetventile entspre-
chend angeordnet und gekennzeichnet (Y1/Y2). Zur Identifizierung des jeweiligen Magnetventils
lesen Sie die Stromlaufpläne und den Pneumatikplan.
Magnetventil tauschen
► Stecken Sie die Pneumatikanschlüsse (4) und die elektrischen Anschlüsse der Magnetventile
ab.
► Entfernen Sie die Befestigungsschrauben (3) und entnehmen Sie das Magnetventil.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.