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12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 326 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.454: Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2) ) kleiner als der eingestellte…
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 325
12.8.1.2 Funktion der Baugruppe Durchhang-Sensor
Der Sender S sendet einen Lichtstrahl aus und der Empfänger R empfängt diesen Lichtstrahl.
Je nachdem, wie stark der Lichtstrahl (Lichtintensität) des Senders S beim Empfänger R ankommt,
wird an der Auswerteeinheit ein Wert angezeigt.
An der Auswerteeinheit Sensick WLL180T gibt es folgende Funktionen:
Abb.452:
1. Lichtleiter vom Sender S und Empfänger R
2. Verriegelung der Lichtleiter
3. Auswahltaste (+ / -)
4. Mode-Taste
5. Teach-Taste
6. Eingestellter Schaltschwellen-Wert (Grün)
Dieser Wert muss geteacht werden.
Wird eine Lichtintensität unter diesem Schaltschwellen-Wert empfangen, so wird kein Signal
ausgegeben.
7. Anzeige der Lichtintensität am Empfänger (Rot)
Dieser Wert zeigt an, wieviel Lichtintensität vom Sender S noch am Empfänger R ankommt.
Da hier davon ausgegangen wird, dass Sender S und Empfänger R optimal auf die Einbauge-
gebenheiten eingestellt wurden, sind diese Werte absolut.
8. OUT-Signal
Abb.453:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) größer als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist noch nicht soweit unterbrochen und es besteht keine Gefahr, dass die Wa-
ferfolie an der Basiseinheit streift.
●
Ein Signal (OUT leuchtet Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf vom Gripper in
den Waferlift gezogen werden.
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12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
326 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.454:
Ist der Wert der Lichtintensität am Empfänger R (rote Anzeige (2)) kleiner als der eingestellte
Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige (1)), dann gilt Folgendes:
●
Der Lichtstrahl ist soweit unterbrochen und es besteht Gefahr, dass die Waferfolie an der Ba-
siseinheit streift.
●
Kein Signal (OUT leuchtet nicht Orange (3)) wird ausgegeben und der Wafer darf nicht vom
Gripper in den Waferlift gezogen werden.
12.8.1.3 Erklärung der Lichtintensität in Verbindung mit dem Foliendurchhang
Lichtstrahl nicht unterbrochen
Abb.455:
●
Der Sender S (1) und der Empfänger R (2) sind knapp über dem Expansionsring (Ring) mon-
tiert.
●
Der Lichtstrahl vom Sender S (1) wird nicht komplett ausgestrahlt, da aufgrund der Freiraum-
höhe zum Waferwechsel der Sender S (1) nicht zu hoch sein darf.
●
Deswegen tritt nicht der komplette Lichtstrahl vom Sender aus und wird vom Expansionsring
abgelenkt oder blockiert.
●
Aufgrund der Streuung des Lichtstrahls kommt am Empfänger R (2) ein gewisser Prozentsatz
an Lichtintensität (I) im Verhältnis zum ausgesendeten Lichtstrahl an.
●
Bei optimaler Einstellung und Ausrichtung zwischen Sender S (1) und Empfänger R (2) ist
hiermit die Anzeige an der Auswerteeinheit für die Lichtintensität maximal (absolut).
●
Ziel beim mechanischen Ausrichten des Sender S zum Empfänger R ist hier der höchste zu
erreichende Wert der empfangenen Lichtintensität.
●
Dieser Wert wird als 100% angesehen.
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Lichtstrahl bei zu weit durchhängender Waferfolie unterbrochen
Abb.456:
●
Der Lichtstrahl vom Sender S (1) zum Empfänger R (2) wird unterbrochen.
●
Die Waferfolie (3) hängt nach dem Ende des Stretch-Vorgangs durch.
●
Je nachdem wie weit die Folie durchhängt, unterbricht sie den Lichtstrahl des Senders S.
●
Der maximal erlaubte Durchhang der Waferfolie ist 1mm.
●
Hängt die Waferfolie weiter durch (= die Folie ist näher als 1mm am Expansionsring), so darf
der Wafer nicht mit dem Greifer in den Waferlift gezogen werden.
●
Durch die Unterbrechung des Lichtstrahls kommt nicht das komplette Licht am Empfänger R
(2) an.
●
Am Empfänger R (2) wird somit eine geringere Lichtintensität (I) empfangen.
●
Beim Einstellen der Schaltschwelle muss ein Foliendurchhang mit einem Folienabstand zum
Expansionsring von 1mm simuliert werden. Dies entspricht einem Foliendurchhang von ca.
9mm!
●
Bei diesem simulierten Foliendurchhang wird dann die Schaltschwelle an der Auswerteeinheit
Sensick WLL180T kalibriert.
●
Dieser Wert wird in der Auswerteeinheit als Schaltschwellen-Wert (grüne Anzeige) absolut
angezeigt.
●
Dies bedeutet:
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring <1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein kleinerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT nicht aktiviert → Wechsel nicht erlaubt.
– Hängt die Waferfolie soweit durch, dass der Abstand zum Expansionsring >1mm ist, so
wird an der Auswerteeinheit ein größerer Lichtintensitätswert (Rot) als der Schaltschwel-
len-Wert (Grün) angezeigt. → OUT aktiviert → Wechsel erlaubt.
12.8.2 Mechanisches Einstellen des Durchhang-Sensor IN19
12.8.2.1 Benötigte Materialien und Hilfsmittel
●
1x Demontiertes Expansionsblech
Oder
1x stabiles Blech oder Vierkant-Material Länge <500mm (darf sich nicht durchbiegen)
●
2x 1mm-Blech mit den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
Oder
2x gefaltetes Papier in den Dimensionen L=200mm, B=30mm, D=1mm
●
1x Messschieber
●
1x Inbusschlüssel 3mm (T-Griff o.ä.)
●
1x gekürzter Inbusschlüssel 3mm zum Entfernen der Schrauben des Senders von oben
●
1x Fühlerlehre oder Blech mit 0,1mm