00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第219页

10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 219 Abb.281: Pos. Bezeichnung 1 Anschlussbaugruppe auf Platine 00379104-xx für Motor M7/Rotate…

100%1 / 510
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
218 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.2 Ausgangssituation
Abb.280:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 00386236-xx Kabel Motorstrom MOT-1 für Rotate Die-Attach Connector 2x2
2 00386234-xx Kabel Signale ENCH1 für Rotate Die-Attach Connector RS232
3 00386235-xx Kabel Signale ENCH2 für Flip-Tool-X Connector RS232
4 00386237-xx Kabel Motorstrom MOT-2 für Flip-Tool-X Connector 2x2
5 00386918-xx Kabel → NOT USED
6 00386020-xx Kabel Control IN/OUT an ST1-12 Connector 2x6
7 Anschlussschlauch Vakuum
8 Erdungskabel für Die-Attach-Unit SWS
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 219
Abb.281:
Pos. Bezeichnung
1 Anschlussbaugruppe auf Platine 00379104-xx für Motor M7/Rotate Die-Attach
2 Connector ENCH1 für Signale Motor Rotate Die-Attach zur Galil-Karte
3 Connector MOT-1 für Spannungsversorgung Motor Rotate Die-Attach zur Galil-Karte
4 Anschlussbaugruppe auf Platine 00379104-xx für Motor M8/Flip-Tool-X zur Galil-Karte
5 Connector ENCH2 für Signale Motor Flip-Tool-X zur Galil-Karte
6 Connector MOT-2 für Spannungsversorgung Motor Flip-Tool-X zur Galil-Karte
7 Anschlussbaugruppe auf Platine 00385749-xx für Sensoren
8 Connector ST1 für Sensoren zur Platine USB-IO
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
220 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.282:
Pos. Bezeichnung
1 Vorverdrahtete Komplettbaugruppe Die-Attach-Unit SWS
2 Spannungsversorgung Motor Rotate Die-Attach Kabel 00386236-xx an Connector
MOT-1
3 Signale Motor Rotate Die-Attach Kabel 00386234-xx an Connector ENCH1
4 Spannungsversorgung Motor Flip-Tool-X Kabel 00386237-xx an Connector MOT-2
5 Signale Motor Flip-Tool-X Kabel 00386235-xx an Connector ENCH2
Abb.283:
Pos. Bezeichnung
1 Vorverdrahtete Komplettbaugruppe Die-Attach-Unit SWS
2 Sensoren Die-Attach Unit Control IO/OUT Kabel 00386020-xx an ST1-12