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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 251 Abb.337: Teile Die Teile in der Abbildung werden im Folgenden benötigt, um die offenen Dr…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
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Abb.335:
► Entfernen Sie die Sicherungsschraube (14) der Die-Attach-Unit.
VORSICHT
Bevor Sie die Die-Attach-Unit herausnehmen können, müssen Sie die Transfer-X-Achse
zurückziehen (siehe Abbildung unten und Abschnitt 10.1.3 "Einbau der Option Die-Attach-
Unit in das SWS" [}221]).
Andernfalls wird die Achse gebogen und beschädigt!
Abb.336:
► Bevor Sie die Die-Attach-Unit heraus nehmen können, müssen Sie die Transfer-X-Achse zu-
rückziehen, damit der Rachen aus dem Laufring des Flip-Kopfes heraus bewegt wird!
► Nehmen Sie die Die-Attach-Unit heraus.
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Abb.337: Teile
Die Teile in der Abbildung werden im Folgenden benötigt, um die offenen Druckluft- und Vakuum-
anschlüsse zu verschließen.
Die Dichtungskappe und die Verschlussstopfen werden mit der Die-Attach-Unit geliefert.
Abb.338: Stopfen
► Stecken Sie die Verschlussstopfen auf die offenen Druckluftanschlüsse.
Abb.339:
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► Setzen Sie die Dichtungskappe auf den offenen Vakuumschlauch.
Abb.340:
Das Füllstück ist erforderlich, um den Spalt im Laufring des Flip-Kopfes auszufüllen, nachdem die
Die-Attach-Unit ausgebaut ist. Das Füllstück ist auf dem Die-Attach-Modul montiert (siehe Abbil-
dung).
Abb.341:
► Öffnen Sie die Sicherungsschrauben des Füllstückes und nehmen Sie es heraus.