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18 Anhang 18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 495 18.3.6.8 Initialisierungsablauf für Wafer-Handler MOT10(B) Die Wafer-Handler-Achse hat einen Hub von 460mm (CSM8) oder 510…
18 Anhang
18.3 Spezifikation: Motor-Steuerung
494 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
18.3.6.5 Initialisierungsablauf für Flip-X (Hand-over) MOT8(H)
Der Flip-X-Linearmotor wird in ausgeschalteten Zustand mittels Klemm-Zylinder in die Parkposition
geklemmt.
Der Flip-X Motor wird mit Strom versorgt, anschließend wird der Klemm-Zylinder (Set OUT14 on)
geöffnet.
Mit dem anschließend geschalteten Home-Sensor "HO8" (Signal = 24V) erfolgt die Freigabe für
die Initialisierung.
Der Linearmotor sucht die Index-Spur schräg nach oben. Diese sitzt ca. 0,5mm unterhalb des obe-
ren mechanischen Anschlages.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT8(H) aktualisiert und der Motor fährt
in die gespeicherte Parkposition.
Bei Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und der Klemm-Zylinder wird gleich-
zeitig über K2 (Signal OUT14 wird unterbrochen) ausgeschaltet.
Der gefederte Klemm-Zylinder schließt sich und der Flip-X-Motor wird in der eingestellten Parkposi-
tion gehalten.
18.3.6.6 Initialisierungsablauf für Die-Attach-Rotate MOT7(G)
Der Die-Attach-Rotor (360°-Bewegung rundum) wird eingeschaltet und sucht den Home-Sensor
"HO7".
Der Home-Sensor sitzt an der rechten seitlichen Rotor-Position. Anschließend wird die Index-Spur
des Encoders in Uhrzeigersinn gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT7(G) aktualisiert und der Motor fährt
in die gespeicherte Übergabeposition.
18.3.6.7 Initialisierungsablauf für Wafer-Magazinlift MOT9(A)
Die Magazinlift Achse hat einen Hub von 370mm und ist mit den Limit-Sensoren "RL9" (unten) und
"FL9" (oben) begrenzt.
Eine angebaute Motorbremse klemmt den Wafer-Magazinlift in Position.
Sicherheits-Türschalter
Die Initialisierung kann nur mit geschlossener Waferlift-Türe erfolgen.
Ein geöffneter Sicherheits-Türschalter unterbricht die Signale "FL9" und "RL9", sodass per Steue-
rung der Motor nicht in Bewegung gesetzt werden kann.
Gleichzeitig wird über den geöffneten Sicherheits-Türschalter die Motorbremse eingeschaltet (Ma-
gnetansteuerung 24V = unterbrochen) und das Kontrollsignal "IN1.3" ausgeschaltet.
Initialisierung
Durch Einschalten des Motorstroms wird gleichzeitig mit dem Signal "AEN1" über einen Leistungs-
Optokoppler "OK1" die Motorbremse ausgeschaltet (Bremsmagnet ist ein).
Die Initialisierung des Motors erfolgt nach oben zum Sensor "FL9". Anschließend wird die Encoder-
Index-Spur nach unten gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT9(A) aktualisiert und der Magazinlift
fährt anschließend in die Ausgangsposition.
Not-Aus-Funktion
Wird Not-Aus gedrückt, ist anschließend der Motor stromlos und die Motorbremse wird über K2
eingeschaltet (Ansteuerung GND-Bremsmagnet ist unterbrochen).
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 495
18.3.6.8 Initialisierungsablauf für Wafer-Handler MOT10(B)
Die Wafer-Handler-Achse hat einen Hub von 460mm (CSM8) oder 510mm (CSM12) und ist mit
den Limit-Sensoren "RL10" (Magazin-Seite) und "FL10" (Flip-Seite) begrenzt. Die Initialisierung
des Motors erfolgt nach hinten zum Sensor "FL10". Anschließend wird die Encoder-Index-Spur
nach vorne gesucht.
Ist die Index-Spur gefunden, wird der Counter der Achse MOT10(B) aktualisiert und der Wafer-
Handler fährt anschließend in die hintere Ausgangsposition.
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
18.4.1 Steuerplatinen Input/Output
DMC1886(1866) Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 2x 100pol. Stecker:
●
16x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Digital-Input 5V/NPN,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
16x Digital-Output, Optoisolation 24V/500mA, p-schaltend
DMC1826 Galil-Motion-Controller (PCI-Bus) mit integriertem I/O-System
Anschlüsse über 1x 100pol. Stecker für:
●
8x Digital-Input, Optoisolation, 24V/PNP,
●
8x Analog-Input +/-10V, (nicht verwendet)
●
8x Digital-Output, Optoisolation, 24V/500mA, p-schaltend
Verteiler I/O-Platine DMC-INT1 (145 x 72mm), Einbauort: Waferlift
Anschlussklemmen für:
●
8x Digital-Input 24VPNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
8x Digital-Output 24V / max2A / p-schaltend mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
12x Digital-Input 24V/PNP, = Limit und Home-Sensoren für 4-Motoren, mit LED.
●
4x Klemme MCMx (Motor-command), 4x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
1x ABORT (Abbruch), 1x ECC (Encoder-common), 1x INC (Input-common).
●
1x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
16x Klemme (grau) GND, 12x Klemme (orange) 24V, abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V, 1x +12V, 1x -12V, kommend vom PC.
Verteiler I/O-Platine DMC-INT2 (230 x 145mm) Einbauort: Elektroeinschub
Anschlussklemmen für:
●
24x Digital-Input 24V/PNP mit Leuchtdioden-Anzeige rot.
●
16x Digital-Output / 24V / max2A / P-schaltend / mit Leuchtdioden-Anzeige gelb.
●
24x Digital-Input 24V/PNP, Limit und Home-Sensoren für 8-Motoren, mit LED rot.
●
8x Klemme MCMx (Motor-command), 8x Klemme AENx (Amplify-enable) mit LED.
●
2x ABORT (Abbruch), 2x ECC (Encoder-common), 2x INC (Input-common).
●
2x LSC (Limit-common), 8x Analog-Input +/-10V, 4x Klemmen für Analog-GND.
●
40x Klemme (blau) GND, 24x Klemme 24V (orange), abgesichert mit F1/4AT.
●
Klemmen (orange) 2x 5V (über F2/1AT), 2x +12V, 2x -12V, kommend vom PC.
18 Anhang
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
496 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Adapter-Platine AD-WT Rev.0 (229 x 65mm), Einbauort: Tischplatte Wafertisch
Anschlüsse für:
●
21x Durchgangsklemmen für In/Outputs
●
12x Durchgangsklemmen für Home und Limitsensoren, (für Servomotor 1-4)
●
15x Klemmen (orange) 24V, abgesichert über F1/2AT, Kontroll-LED1 grün.
●
15x Klemmen (grau) GND.
●
1x Sicherung für 5V-Logik-Spannung, F2/0,5AF, Kontroll-LED2 grün.
●
Integrierte Logik-Steuerung für die Limit-Abschaltung des Wafertisches zum Schutz des Die-
Ejector, mit Jumper J1/2/3/4/5 für Logik Festlegung.
●
2x Schrittmotor-Steuerung für X/Y-Achse Die-Ejector, = Option.
●
1x Durchgangsklemmen für einen Servomotor, Hall-Sensoren und Encoder
18.4.2 Aufbau des DMC-18x6 I/O-System
Das komplette Input/Output System ist in den Galil-Motions-Controllern 1x "DMC1886" oder
"DMC1866" und "DMC1826" integriert.
Die Signalleitungsführung erfolgt über 3 Kabel 100-polig, kommend von Galil DMC18x6 und wer-
den durchgeschleift über drei Amplifier "AMP-19540"(19520").
An den Amplifier werden die Signale über den Stecker "AUX-IO J3x" (44pol.) zur Platine "DMC-
INT2" oder "DMC-INT1" weitergeleitet.
Die Analog-Input und die Digital-Input 5V werden jeweils über die 15pol. Stecker "Analog-1" an
den Amplifier zu der Platine "DMC-INT2" weitergeleitet.
An den "DMC-INT1(2)" Platinen werden über die Klemmanschlüsse die Signale abgegriffen und in
der Maschine direkt oder über Verbindungskabel mit Sub-D Stecker verteilt.
Die Inputs an den "DMC18x6" können mit NPN oder auch mit PNP betrieben werden.
Die gemeinsame "INCOM" Verbindung für die Inputs zu den "DMC18x6" wird über die Adapterpla-
tine "DMC-INT1(2)" mit Jumper "Jx" auf COM24 gelegt, sodass die Input mit PNP-Logik arbeiten.
Label DMC1886(66) Input-1 bis 24 = IN1, IN2,…IN24
Analog-Input-1 bis 8 = ANA1, ANA2,…ANA3
Output-1 bis 16 = OUT1, OUT2,…OUT16
Label DMC1826 Input-1 bis 8 = IN1.1, IN1.2,…IN1.8
Output-1 bis 8 = OUT1.1, OUT1.2,…OUT1.8
Label USB-IO Input-1 bis 8 = DI1, DI2,…DI8
Analog-Input 1 bis 8 = AI1, AI2,…AI3
Output-1 bis 8 = DO1, DO2,…DO8
Current-Output (Stromregelung) 1 bis 8 = ILED1, ILED2,…ILED8