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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling 404 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung Abb.580: ► Um die Kalibrierung zu starten, wählen Sie zuerst Se…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 403
15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position
Abb.578:
► (1) Wählen Sie Go to position Button neben Magazine change position, um die Hub-Achse
in diese Position zu fahren.
► (2) Die Kunststoffschiene an der Magazinplatte und die am Lift-Rahmen sollten nun auf der-
selben Ebene sein (siehe im Bild unten).
Abb.579:
► (3) Wenn nicht, korrigieren Sie die Position mit den Auf- und Ab-Pfeiltasten, nachdem Sie die
geeignete Schrittgröße gewählt haben.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
404 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.2 Menü Wafertisch-Kalibrierung
Abb.580:
► Um die Kalibrierung zu starten, wählen Sie zuerst Service menu in der Menüleiste am unte-
ren Rand und dann wählen Sie Calibration of wafer table.
15.4.2.1 Wafertisch-Kalibrierung
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.581:
Die Standardvorgehensweise führt alle Einzelschritte zur Kalibrierung des Wafertisches in einem
Vorgang aus.
Diese Vorgehensweise umfasst dieselbe Reihenfolge der Kalibrierschritte wie in Single step cali-
bration.
Wenn Probleme auftreten, kann die Wafertisch-Kalibrierung als Einzelkalibrierung durchgeführt
werden.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 405
All-In-One-Kalibrierung
► Wählen Sie One-magic-button calibration unter Full calibration.
ð Der Mittelpunkt und die Kollisionskonturen des Wafertisches werden auf einmal kalibriert.
Einzelkalibrierung
Erster Schritt
1 - Kollisionsstrukturen bestimmen
●
In einem ersten Schritt wird der Tisch verfahren, um die Kollisionsstrukturen zu erkennen.
●
Es erfolgt eine Prüfung der Kollisionskonturen des Wafertisches gegen das Ergebnis der alten
Nullposition, um einen Crash zu verhindern.
Zweiter Schritt
2 – Nullpunkt kalibrieren
●
Im zweiten Schritt wird die Referenzposition des Wafertisches mit Hilfe des Pins (als Marke
für die Berechnung der Tischposition) kalibriert.
●
Es erfolgt eine Kalibrierung des Wafer-Rahmen-Mittelpunkts.
Dritter Schritt
3 - Kollisionsstrukturen bestimmen
●
Im dritten Schritt wird die Bestimmung der Kollisionsstruktur wiederholt, um das Ergebnis zu
verfeinern.
●
Es erfolgt eine Kalibrierung der Kollisionskonturen des Wafertisches mit dem neuen Ergebnis
der Nullposition.
15.4.2.2 Wafertisch-Positionen
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
In dieser Kalibrierung wird der Wafertisch so eingestellt, dass er am Wafer-Magazin ausgerichtet
ist und eine Position für den optionalen Wafer-Heater definiert wird.
Abb.582: