00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第92页
5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 92 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.89: ► Schieben Sie die Kupplung bis zum Anschlag auf die Spindelwelle! Das Label auf der Kupplung sollte in Richtung de…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 91
Abb.87:
► Schieben Sie den Wafertisch soweit nach hinten, bis vor dem Spindellager keine Störkante
ist!
Abb.88:
► Drücken Sie die gesamte Spindel vorsichtig aus dem Lager, bis der Anschlag erreicht wird.
Achten Sie darauf, dass beim Verschieben der Spindel kein Kabel oder ähnliches beschädigt
wird.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
92 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.89:
► Schieben Sie die Kupplung bis zum Anschlag auf die Spindelwelle!
Das Label auf der Kupplung sollte in Richtung der Spindel zeigen.
Die Beschriftung auf der Spindelplatte sollte wie auf dem Bild in Richtung Waferlift zeigen!
Abb.90:
► Platzieren Sie die untere vordere Befestigungsschraube in der Kupplungsplatte und halten
diese mit einem Inbus-Schlüssel in Position!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 93
Abb.91:
► Fädeln Sie die Einheit Kupplungsplatte-X‑Motor über die Kupplung auf die Spindel.
Halten Sie dabei immer die Befestigungsschraube mit dem Inbus-Schlüssel in Position.
Abb.92:
► Schieben Sie nun das System zusammen, so dass die Motorwelle in die Kupplung gleitet.
Halten Sie dabei immer die Befestigungsschraube mit dem Inbus-Schlüssel in Position, damit
die Schraube nicht aus der Bohrung fällt.
► Schieben Sie die Kupplungsplatte hin und her und suchen Sie die Gewindebohrung.