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8 Flip-Unit 8.2 Übersicht der Ersatzteile Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 177 Rückholeinheit Abb.227: Rückholeinheit Flip-Unit – Grundplatte Abb.228: Grundplatte - Flip-Unit HINWEIS Die auf der Plat…
8 Flip-Unit
8.2 Übersicht der Ersatzteile
176 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.2 Übersicht der Ersatzteile
Flip-Kopf
Abb.225: Flip-Kopf - Ansicht von hinten
Abb.226: Flip-Kopf - Ansicht von vorne
8 Flip-Unit
8.2 Übersicht der Ersatzteile
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 177
Rückholeinheit
Abb.227: Rückholeinheit
Flip-Unit – Grundplatte
Abb.228: Grundplatte - Flip-Unit
HINWEIS
Die auf der Platine USB-IO-Rev.2 (11) befindliche Reset-Taste darf nicht benützt werden
(Firmware-Version).
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8.2 Übersicht der Ersatzteile
178 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Flip Unit – Waferkamera
Abb.229: Flip-Unit - Waferkamera
Flip-Unit - Sicherung auf der USB I/O Flip-Unit-Platine
Abb.230: Flip-Unit - Sicherung auf der USB I/O Flip-Unit-Platine
Ersatzteile an der Flip-Unit
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 03122422-xx Flip-Kopf justierbar komplett
2 00384731-xx Rückholeinheit komplett
3 03099183-xx Z-Antrieb C&P20 CA
4 00385451-xx RPC Flex Kabel Jumper 5pol. Länge = 2,2"
5 00385278-xx Näherungsschalter induktiv, NBB1-4GM22-E2
6 00384898-xx Näherungsschalter induktiv für Abfrage des Abwurfbehälters
7 00387541-xx Magnetventil komplett