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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.1 Funktionsbeschreibung Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 67 5 Grundrahmen – X/Y-Unit Diese Baugruppe besteht aus den beiden Einzelmodulen Grundrahmen und X/Y-Unit! Je nach St…
4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine
4.3 Magazinlift aufschwenken
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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.1 Funktionsbeschreibung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 67
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
Diese Baugruppe besteht aus den beiden Einzelmodulen Grundrahmen und X/Y-Unit!
Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich jedoch nur durch die spiegelver-
kehrte Anordnung der Baugruppen unterscheiden.
●
Grundrahmen SWS12 (1,3) [00386774-xx] und X/Y-Unit SWS12 (1,3) [00386776-xx]
●
Grundrahmen SWS12 (2,4) [00385830-xx] und X/Y-Unit SWS12 (2,4) [00385864-xx]
Diese Baugruppen sind nicht als Ersatzteile definiert.
5.1 Funktionsbeschreibung
Diese Komplettbaugruppe besitzt jeweils eine Motoreinheit für X- und Y-Richtung. Es handelt sich
hier um Servomotoren mit einer Encoder-Positionierung. Der Antrieb der Achsen erfolgt über Spin-
deln mit Kugelumlauflager. Die Verbindung zwischen Motor und Spindel ist mit Elastomerkupplun-
gen umgesetzt.
Mithilfe der X/Y-Unit wird der Wafer über dem Die-Ejector positioniert oder der Waferlift bedient.
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Abb.44: Komplette Baugruppe "Grundplatte – X/Y-Unit" für einen SWS 1/3
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
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5.2.1 Aufbau und Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3)
Diese Einheit ist für die Bewegung des Wafertisches in Y-Richtung zuständig.
Abb.45:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00385645-xx Bürstenloser Cybermotor - Y-Achse
2 03106447-xx Spielfreie Elastomerkupplung d6,d10
3 0384600-xx Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt Unter der Abdeckung
4 Kugelgewindetrieb und Lagereinheit
5 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
6 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
7 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 Unter der Abdeckung
8 Covershield for Heating Unit (Stretcher) -->
Option
Die Ersatzteile für den
Grundrahmen SWS12 (1/3) [00386774-xx]
und den
Grundrahmen SWS12 (2/4) [00385830-xx]
sind identisch.