00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第335页

12 Wafer-Stretcher 12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 335 Im Folgenden wird nun die Kalibrierung des Schaltschwellen-Wertes an der Auswerteeinheit Sen- sick WLL180T…

100%1 / 510
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
334 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8.3 Einstellen des Schaltschwellenwerts
Im Folgenden wird der Schaltschwellenwert so eingestellt, so dass ein sicheres Wechseln des Wa-
fers mit durchhängender Waferfolie gewährleistet wird.
Der minimal erlaubten Abstand wird mit Hilfe von 1mm-Blechen (oder alternativ mit gefaltetem Pa-
pier) simuliert.
Dann wird ein demontiertes Expansionsblech darübergelegt. Dieses Blech beeinflusst den Licht-
strahl und minimiert somit die ankommende Lichtintensität am Empfänger R. Dieser Wert dient so-
mit als Schaltschwellen-Wert in der Auswerteeinheit.
Abb.466:
► Positionieren Sie die 1mm-Bleche parallel zum Lichtstrahl.
► Alternativ, wenn kein Blech zur Verfügung steht, können Sie auch ein Papier auf die Dicke
von 1mm falten.
► Gegebenenfalls, je nach Papierstabilität, können Sie das Papier auch auf 1,2mm falten, da
nach dem Auflegen des relativ schweren Expansionsbleches das Papier in der Dicke kompri-
miert werden wird.
► Legen Sie dann die beiden gefalteten Papiere, wie die Bleche, parallel zum Lichtstrahl auf
den Expansionsring.
Abb.467:
► Legen Sie nun das Expansionsblech auf die Bleche (oder Papiere).
Beachten Sie dabei folgende Punkte:
– Die beiden Bleche müssen sauber aufliegen.
– Das Expansionsblech muss komplett auf den beiden Blechen aufliegen.
– Das Expansionsblech darf nirgends anders aufliegen.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 335
Im Folgenden wird nun die Kalibrierung des Schaltschwellen-Wertes an der Auswerteeinheit Sen-
sick WLL180T durchgeführt.
Eine Übersicht und Erklärung der Tasten finden Sie im Abschnitt 12.8.1.2 "Funktion der Baugruppe
Durchhang-Sensor" [}325].
Wir verwenden zum Einstellen der Schaltschwelle den Ablauf "1-Point-Teach-In".
Abb.468:
Abb.469:
●
Im Bild sieht man den alten geteachten Wert für die Schaltschwelle 444 (grün).
●
Der momentane Wert für die Lichtintensität am Empfänger R beträgt 202 (rot).
Durch das Expansionsblech mit den Abstandsblechen von 1mm wird das vom Sender S ausge-
strahlte Licht so beeinträchtigt, dass nun nur noch ein Restlicht mit der Intensität von 202 am Emp-
fänger R ankommt.
► Drücken Sie die Teach-In-Taste für 3 Sekunden.
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
336 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.470:
► Wählen Sie nun die Pfeiltaste, bis im Display 1Pt erscheint.
ð Nun ist die "1-Point-Teach-In"-Kalibrierung aktiviert.
► Drücken Sie nun die Teach-In-Taste erneut.
Abb.471:
●
Die Schaltschwellen-Anzeige (grün) blinkt.
●
Der Schaltschwellen-Wert (grün) wird auf den Lichtintensitätswert von 202 (rot) kalibriert.
●
Nach erfolgreicher Kalibrierung wechselt die Anzeige wieder zu festen Werten.
●
Für die Lichtintensität am Empfänger wird weiterhin 202 (rot) angezeigt.
●
Für die kalibrierte Schaltschwelle wird ein Wert von 221 (grün) angezeigt.
●
Die Schaltschwelle wird intern errechnet aus dem empfangenen Licht am Empfänger R plus
10% → Lichtintensität 202 + 10% (ca. 20) → 221 (grün).
●
Intern werden die Werte genauer berechnet, deswegen ergeben sich andere Werte.
12.8.3.1 Überprüfen der Funktion "Schaltschwelle"
► Heben Sie das Expansionsblech leicht an.
ð Der Wert für die Lichtintensität am Empfänger R steigt an.
Abb.472:
●
Sobald der Wert für die Lichtintensität den Wert für die Schaltschwelle übersteigt, sollte die
die Meldung OUT orange leuchten und die Auswerteeinheit ein Signal an die GUI schicken.