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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 407 Abb.584: ► Wählen Sie die weiße Schaltfläche und rufen Sie die Motor settings auf. Abb.585: ► Deak…
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
406 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Einstellung der Wafer-Wechsel-Position
Vorbedingung
●
Magazin muss mit mindestens einem Wafer in einem Slot gerüstet sein.
●
Magazin und Wafer müssen einander in der Software zugeordnet sein.
Manuelle Operationen - Manuelle Operationen Subsysteme - Wafer-Handling
► Wählen Sie Wafer handling im Menü Manual operations.
Abb.583:
► Wählen Sie Go to change position, damit der Wafertisch in die Ladeposition verfährt.
► Geben Sie die Nummer eines Slots, der einen Wafer enthält, ein. Wählen Sie To load wafer
position.
► Aktivieren Sie den Setup-Modus.
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
► Wählen Sie Open wafer lock, um die Wafer-Klemmung zu öffnen.
► Wählen Sie Gripper down.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 407
Abb.584:
► Wählen Sie die weiße Schaltfläche und rufen Sie die Motor settings auf.
Abb.585:
► Deaktivieren Sie Power für den Wafer changer.
ð Der Wafer-Wechsler kann manuell bewegt werden.
► Der Greifer ist standardmäßig offen.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
408 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.586:
► Verschieben Sie den Wafer-Wechsler manuell zum Wafer-Rahmen. Der Rahmen muss sich
im Greifer befinden.
► Wählen Sie Gripper close, um die Klemmfunktion zu aktivieren.
Abb.587:
► Versuchen Sie dann, den Wafer aus dem Magazin auf den Wafertisch zu verschieben, indem
Sie den Wafer-Wechsler rückwärts ziehen.
VORSICHT
Im Setup-Modus kann die Achse des Magazin-Lifts immer noch bewegt werden.